| ชื่อเรื่อง | : | การออกแบบและการวัดความต้านทานของฟิล์มบางและชั้นแพร่สารเจือ |
| นักวิจัย | : | อนุชา เรืองพานิช , สรายุทธ วิศวแสวงสุข , Anucha Ruangphanit |
| คำค้น | : | Electric circuits , Electrical and electronic engineering , Engineering and technology , Thin film , ฟิล์มบาง , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ |
| หน่วยงาน | : | สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2546 |
| อ้างอิง | : | http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/12832 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | บทความนี้เสนอเทคนิคการออกแบบและเทคนิคการวัดความต้านทานของ ฟิล์มบางและชั้นแพร่สารเจือในกระบวนการสร้าง CMOS 5 um polysilicon gate This article presents the designing technique and the resistance measurement technique of thin film and diffusion layer in CMOS 5 um polysilicon gate process fabrication. |
| บรรณานุกรม | : |
อนุชา เรืองพานิช , สรายุทธ วิศวแสวงสุข , Anucha Ruangphanit . (2546). การออกแบบและการวัดความต้านทานของฟิล์มบางและชั้นแพร่สารเจือ.
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. อนุชา เรืองพานิช , สรายุทธ วิศวแสวงสุข , Anucha Ruangphanit . 2546. "การออกแบบและการวัดความต้านทานของฟิล์มบางและชั้นแพร่สารเจือ".
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. อนุชา เรืองพานิช , สรายุทธ วิศวแสวงสุข , Anucha Ruangphanit . "การออกแบบและการวัดความต้านทานของฟิล์มบางและชั้นแพร่สารเจือ."
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2546. Print. อนุชา เรืองพานิช , สรายุทธ วิศวแสวงสุข , Anucha Ruangphanit . การออกแบบและการวัดความต้านทานของฟิล์มบางและชั้นแพร่สารเจือ. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2546.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
