| ชื่อเรื่อง | : | กระบวนการผลิตวงจรรวม |
| นักวิจัย | : | ภาวดี มีสรรพวงศ์ , สรายุทธ วิศวแสวงสุข , อนุชา เรืองพานิช , อัมพร โพธิ์ใย , อิทธิ ฤทธาภรณ์ , Pawadee Meesapawong , Anucha Ruangphanit , Amporn Poyai |
| คำค้น | : | Electrical and electronic engineering , Engineering and technology , Integrated circuits , วงจรรวม IC , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ |
| หน่วยงาน | : | สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2546 |
| อ้างอิง | : | http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/12829 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | ในบทความนี้เป็นการนำเสนอกระบวนการผลิตวงจรรวมโดยสังเขป จุดประสงค์เพื่อให้เห็นภาพรวมของอุปกรณ์ เครื่องมือ และทรัพยากรที่ต้องใช้ โดยจะเน้นการสร้าง Complementary Metal Oxide Semiconductor Field-Effect Transistor (CMOS) อุปกรณ์ CMOS นี้ประกอบไปด้วย nMOS และ pMOS ซึ่งเป็นอุปกรณ์หน่วยย่อยของวงจรรวม |
| บรรณานุกรม | : |
ภาวดี มีสรรพวงศ์ , สรายุทธ วิศวแสวงสุข , อนุชา เรืองพานิช , อัมพร โพธิ์ใย , อิทธิ ฤทธาภรณ์ , Pawadee Meesapawong , Anucha Ruangphanit , Amporn Poyai . (2546). กระบวนการผลิตวงจรรวม.
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. ภาวดี มีสรรพวงศ์ , สรายุทธ วิศวแสวงสุข , อนุชา เรืองพานิช , อัมพร โพธิ์ใย , อิทธิ ฤทธาภรณ์ , Pawadee Meesapawong , Anucha Ruangphanit , Amporn Poyai . 2546. "กระบวนการผลิตวงจรรวม".
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. ภาวดี มีสรรพวงศ์ , สรายุทธ วิศวแสวงสุข , อนุชา เรืองพานิช , อัมพร โพธิ์ใย , อิทธิ ฤทธาภรณ์ , Pawadee Meesapawong , Anucha Ruangphanit , Amporn Poyai . "กระบวนการผลิตวงจรรวม."
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2546. Print. ภาวดี มีสรรพวงศ์ , สรายุทธ วิศวแสวงสุข , อนุชา เรืองพานิช , อัมพร โพธิ์ใย , อิทธิ ฤทธาภรณ์ , Pawadee Meesapawong , Anucha Ruangphanit , Amporn Poyai . กระบวนการผลิตวงจรรวม. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2546.
|
