| ชื่อเรื่อง | : | Fabrication and characterization of silicon- on- insulator using low temperature wafer bonding. |
| นักวิจัย | : | Yu, Weibo. |
| คำค้น | : | DRNTU::Engineering::Electrical and electronic engineering::Electronic packaging. |
| หน่วยงาน | : | Nanyang Technological University, Singapore |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2548 |
| อ้างอิง | : | Yu, W. B. (2005). Fabrication and characterization of silicon- on- insulator using low temperature wafer bonding. Doctoral thesis, Nanyang Technological University, Singapore. , http://hdl.handle.net/10356/3934 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | In present study, two low temperature wafer bonding methods, namely the medium vacuum wafer bonding (MVWB) and plasma activated wafer bonding (PAWB), are studied. |
| บรรณานุกรม | : |
Yu, Weibo. . (2548). Fabrication and characterization of silicon- on- insulator using low temperature wafer bonding..
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore. Yu, Weibo. . 2548. "Fabrication and characterization of silicon- on- insulator using low temperature wafer bonding.".
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore. Yu, Weibo. . "Fabrication and characterization of silicon- on- insulator using low temperature wafer bonding.."
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2548. Print. Yu, Weibo. . Fabrication and characterization of silicon- on- insulator using low temperature wafer bonding.. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2548.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
