| ชื่อเรื่อง | : | การปรับตั้งพารามิเตอร์ที่เหมาะสม ในกระบวนการเคลือบฟิล์มบนแผ่นเวเฟอร์ |
| นักวิจัย | : | รัตนพันธุ์ นพเก้า |
| คำค้น | : | พารามิเตอร์ , การเคลือบฟิล์ม , แผ่นเวเฟอร์ |
| หน่วยงาน | : | สำนักงานการวิจัยแห่งชาติ |
| ผู้ร่วมงาน | : | อัษฏา จิรประยุกต์เลิศ |
| ปีพิมพ์ | : | 2551 |
| อ้างอิง | : | http://dric.nrct.go.th/Search/SearchDetail/209849 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | - |
| บรรณานุกรม | : |
รัตนพันธุ์ นพเก้า . (2551). การปรับตั้งพารามิเตอร์ที่เหมาะสม ในกระบวนการเคลือบฟิล์มบนแผ่นเวเฟอร์.
กรุงเทพมหานคร : มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี. รัตนพันธุ์ นพเก้า . 2551. "การปรับตั้งพารามิเตอร์ที่เหมาะสม ในกระบวนการเคลือบฟิล์มบนแผ่นเวเฟอร์".
กรุงเทพมหานคร : มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี. รัตนพันธุ์ นพเก้า . "การปรับตั้งพารามิเตอร์ที่เหมาะสม ในกระบวนการเคลือบฟิล์มบนแผ่นเวเฟอร์."
กรุงเทพมหานคร : มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี, 2551. Print. รัตนพันธุ์ นพเก้า . การปรับตั้งพารามิเตอร์ที่เหมาะสม ในกระบวนการเคลือบฟิล์มบนแผ่นเวเฟอร์. กรุงเทพมหานคร : มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี; 2551.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
