| ชื่อเรื่อง | : | การวิเคราะห์ระบบการวัดของเครื่องอัตโนมัติอิลลิปโซมิเตอร์ใช้ในกระบวนการผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์ |
| นักวิจัย | : | ชาญเดช หรูอนันต์ , ธงชัย ธงวิจิตรมณี , นริชพันธ์ เป็นผลดี , รัตนพันธุ์ นพเก้า , สมพงษ์ เจริญกิจ , อัมพร โพธิ์ใย |
| คำค้น | : | Elipsometer , Measurement System Analysis , การวิเคราะห์ระบบการวัด , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , อิลลิปโซมิเตอร์ |
| หน่วยงาน | : | สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2549 |
| อ้างอิง | : | http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/11188 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | การวิเคราะห์ระบบการวัดของเครื่องอิลลิปโซมิเตอร์ที่ใช้ในกระบวนการผลิตวงจรรวมเป็นการวิเคราะห์ค่าความผันแปรของกระบวนการผลิ และระบบการวัด ในด้านการวิเคราะห์ความถูกต้องของระบบการวัดซึ่งตรวจสอบคุณสมบัติด้านไบอัส คุณสมบัติด้านความมีเสถียรภาพรวมถึงคุณสมบัติเชิงเส้นตรง และในด้านการวิเคราะห์ความแม่นยำของระบบการวัดซึ่งตรวจสอบความสามารถในการวัดซ้ำและ ความสามารถในการทำเหมือน เพื่อตรวจสอบค่าทางสถิติของความผันแปรของระบบการวัดเทียบกับความผันแปรของกระบวนการผลิต เพื่อเป็นข้อมูลชี้บ่งสถานะของเครื่องมือวัดเพื่อสามารถวางแผนการแก้ไขและการสอบเทียบเครื่องมือวัด การวิเคราะห์ระบบการวัดเป็นเครื่องมือของนักวิศวกรการผลิตที่สอดคล้องกับ ISO 9001 เพื่อให้เกิดความมั่นใจของระบบการวัดและคุณภาพของการผลิตที่ตอบสนองความพึงพอใจของลูกค้า |
| บรรณานุกรม | : |
ชาญเดช หรูอนันต์ , ธงชัย ธงวิจิตรมณี , นริชพันธ์ เป็นผลดี , รัตนพันธุ์ นพเก้า , สมพงษ์ เจริญกิจ , อัมพร โพธิ์ใย . (2549). การวิเคราะห์ระบบการวัดของเครื่องอัตโนมัติอิลลิปโซมิเตอร์ใช้ในกระบวนการผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์.
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. ชาญเดช หรูอนันต์ , ธงชัย ธงวิจิตรมณี , นริชพันธ์ เป็นผลดี , รัตนพันธุ์ นพเก้า , สมพงษ์ เจริญกิจ , อัมพร โพธิ์ใย . 2549. "การวิเคราะห์ระบบการวัดของเครื่องอัตโนมัติอิลลิปโซมิเตอร์ใช้ในกระบวนการผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์".
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. ชาญเดช หรูอนันต์ , ธงชัย ธงวิจิตรมณี , นริชพันธ์ เป็นผลดี , รัตนพันธุ์ นพเก้า , สมพงษ์ เจริญกิจ , อัมพร โพธิ์ใย . "การวิเคราะห์ระบบการวัดของเครื่องอัตโนมัติอิลลิปโซมิเตอร์ใช้ในกระบวนการผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์."
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2549. Print. ชาญเดช หรูอนันต์ , ธงชัย ธงวิจิตรมณี , นริชพันธ์ เป็นผลดี , รัตนพันธุ์ นพเก้า , สมพงษ์ เจริญกิจ , อัมพร โพธิ์ใย . การวิเคราะห์ระบบการวัดของเครื่องอัตโนมัติอิลลิปโซมิเตอร์ใช้ในกระบวนการผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2549.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
