| ชื่อเรื่อง | : | โมเดลอิลิปโซมิตรีสำหรับควบคุมฟิล์มบางคาร์บอนบนหัวอ่านฮาร์ดิสก์ |
| นักวิจัย | : | พงศ์พันธ์ จินดาอุดม , Pongpan Chindaudom |
| คำค้น | : | Ellipsometry , Optical physics , Optics and opto-electronic physics , Physical sciences , การเคลือบฟิล์ม , ฟิล์มบาง , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , สาขาเทคโนโลยีสารสนเทศและนิเทศศาสตร์ , หัวอ่านฮาร์ดดิสก์ , อิลิปโซมิตรี |
| หน่วยงาน | : | สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2552 |
| อ้างอิง | : | http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/4996 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | เทคโนโลยีทางแสงที่ใช้ในการควบคุมการเคลือบฟิล์มบางคาร์บอนบนหัวอ่านฮาร์ดดิส์กที่ใช้กันอยู่ในปัจจุบันนี้ คือ in-situ ellipsometry และยังคงเป็นเทคนิคเดียวที่ยังคงใช้กันภายใน 5 ปีข้างหน้า เนี่องจากยังไม่มีเทคนิคใดที่สามารถวัดความหนาฟิล์มบางในระดับต่ำกว่า 10 นาโนเมตรได้อย่างแม่นยำ อย่างไม่ทำลาย และใช้เวลาสั้นเพียงไม่กี่วินาที ซึ่งจำเป็นสำหรับการควบคุมการปลูกฟิล์มคาร์บอนบนหัวอ่านฮาร์ดดิสก์ที่ต้องการความแม่นยำสูง อย่างไรก็ตามความหนาของฟิล์มดังกล่าวกำลังลดลงเรื่อยๆ ปัจจุบันอยู่ที่ความหนาเพียง 2 นาโนเมตร ด้วยความหนาฟิล์มต่ำกว่า 1/100 เท่าของความยาวคลื่นแสงที่ใช้ในการวัด เราจึงเข้าใกล้ขีดจำกัดของการใช้เทคนิคอิลิปโซมิตรีเข้าทุกที จึงจำเป็นต้องมีการศึกษาเพื่อวิเคราะห์หาความถูกต้องแม่นยำหรือขีดจำกัดของโมเดลที่ใช้ในเทคนิคทางแสงนี้อย่างละเอียดถี่ถ้วนขึ้น นอกจากนี้ ค่า n และ k ของวัสดุที่ถูกต้องแม่นยำก็จะช่วยให้โมเดลและผลการวัดมีความถูกต้องมากขึ้น |
| บรรณานุกรม | : |
พงศ์พันธ์ จินดาอุดม , Pongpan Chindaudom . (2552). โมเดลอิลิปโซมิตรีสำหรับควบคุมฟิล์มบางคาร์บอนบนหัวอ่านฮาร์ดิสก์.
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. พงศ์พันธ์ จินดาอุดม , Pongpan Chindaudom . 2552. "โมเดลอิลิปโซมิตรีสำหรับควบคุมฟิล์มบางคาร์บอนบนหัวอ่านฮาร์ดิสก์".
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. พงศ์พันธ์ จินดาอุดม , Pongpan Chindaudom . "โมเดลอิลิปโซมิตรีสำหรับควบคุมฟิล์มบางคาร์บอนบนหัวอ่านฮาร์ดิสก์."
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2552. Print. พงศ์พันธ์ จินดาอุดม , Pongpan Chindaudom . โมเดลอิลิปโซมิตรีสำหรับควบคุมฟิล์มบางคาร์บอนบนหัวอ่านฮาร์ดิสก์. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2552.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
