| ชื่อเรื่อง | : | SECS/GEM message discovery for rapid equipment integration |
| นักวิจัย | : | Liang, Zhiqian |
| คำค้น | : | DRNTU::Engineering::Electrical and electronic engineering::Semiconductors , DRNTU::Engineering::Manufacturing |
| หน่วยงาน | : | Nanyang Technological University, Singapore |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2550 |
| อ้างอิง | : | Liang, Z. (2007). SECS/GEM message discovery for rapid equipment integration. Master’s thesis, Nanyang Technological University, Singapore. , http://hdl.handle.net/10356/4606 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | This project aims to analyze and suggest a solution to alleviate the problem of slow and tedious equiment integration process in the semiconductor manufacturing industries. |
| บรรณานุกรม | : |
Liang, Zhiqian . (2550). SECS/GEM message discovery for rapid equipment integration.
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore. Liang, Zhiqian . 2550. "SECS/GEM message discovery for rapid equipment integration".
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore. Liang, Zhiqian . "SECS/GEM message discovery for rapid equipment integration."
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2550. Print. Liang, Zhiqian . SECS/GEM message discovery for rapid equipment integration. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2550.
|
