| ชื่อเรื่อง | : | Pulsed laser induced silicidation on TiN-capped Co/Si bilayers |
| นักวิจัย | : | Chow, F. L. , Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Tang, L. J. , Tung, Chih Hang , Wang, X. C. , Lim, G. C. |
| คำค้น | : | DRNTU::Engineering::Materials. |
| หน่วยงาน | : | Nanyang Technological University, Singapore |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2549 |
| อ้างอิง | : | Chow, F. L., Lee, P. S., Pey, K. L., Tang, L. J., Tung, C. H., Wang, X. C., et al. (2006). Pulsed laser induced silicidation on TiN-capped Co/Si bilayers. Journal of Applied Physics, 99(4). , http://hdl.handle.net/10220/8022 , http://dx.doi.org/10.1063/1.2171774 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | Journal of applied physics |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | This paper studies the effects of pulsed laser-induced annealing of TiN-capped Co/Si bilayers with and without preamorphized Si substrate. For a low fluence of 0.2 J /cm2, nonstoichiometry Co silicide with triple-layered structure is formed. On the other hand, highly textured CoSi2 grains in (111) direction are formed for a high fluence of 0.7 J /cm2. The highly textured CoSi2 layer is monocrystalline and fully coherent with the (111) plane of the Si substrate. However, it has a large amount of microstructural defects throughout the layer. Competitive growth mechanisms between crystallization of homogenous intermixed layer and the nucleation from the melt boundary are discussed. |
| บรรณานุกรม | : |
Chow, F. L. , Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Tang, L. J. , Tung, Chih Hang , Wang, X. C. , Lim, G. C. . (2549). Pulsed laser induced silicidation on TiN-capped Co/Si bilayers.
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore. Chow, F. L. , Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Tang, L. J. , Tung, Chih Hang , Wang, X. C. , Lim, G. C. . 2549. "Pulsed laser induced silicidation on TiN-capped Co/Si bilayers".
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore. Chow, F. L. , Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Tang, L. J. , Tung, Chih Hang , Wang, X. C. , Lim, G. C. . "Pulsed laser induced silicidation on TiN-capped Co/Si bilayers."
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2549. Print. Chow, F. L. , Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Tang, L. J. , Tung, Chih Hang , Wang, X. C. , Lim, G. C. . Pulsed laser induced silicidation on TiN-capped Co/Si bilayers. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2549.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
