งานวิจัยเกี่ยวกับนาโนซิลิกอนได้รับความสนใจมานานกว่าทศวรรษเนื่องจากมีคุณสมบัติพิเศษที่เป็นประโยชน์ต่อ การประยุกต์ใช้ทางด้านอิเล็กโทรนิกส์และทางด้านชีวภาพ นาโนซิลิกอนสามารถสังเคราะห์ได้จากหลายวิธีแต่ การกัดกร่อนแผ่นซิลิกอนด้วยปฏิกิริยาทางไฟฟ้าเคมีถูกเลือกนำมาใช้ เนื่องจากมีต้นทุนต่ำ ผลิตง่าย และได้ ปริมาณของอนุภาคมาก อย่างไรก็ตามปัญหาที่มักพบคือ การกระจายตัวของขนาดค่อนข้างสูง ดังนั้นงานวิจัยนี้จึง เน้นไปที่การแยกขนาดของอนุภาคที่ผลิตได้ ซิลิกอนรูพรุนที่มีความพรุนสูงมากๆ ถูกนำมาใช้เป็นวัตถุดิบพื้นฐานในการผลิตอนุภาคนาโนซิลิกอน โดย สารละลายอิเล็กโทรไลต์ที่นำมาใช้คือสารละลายกรดไฮโดรฟลูออริกผสมกับเอทานอลในอัตราส่วน 1:2 ถ้า กระแสไฟฟ้าที่ให้แก่ระบบอยู่ในระดับที่เหมาะสมจะกัดกร่อนแผ่นซิลิกอนจนมีความพรุนสูงถึง 80% ลักษณะสัณฐานของซิลิกอนรูพรุนจะถูกนำไปวิเคราะห์โดยอาศัยเทคนิคต่างๆ เช่น SEM, TEM, Fluorescence Spectroscopy, Infrared Spectroscopy และ Raman Spectroscopy จากนั้นการบดจะทำให้ซิลิกอนรูพรุน แตกออกเป็นผงละเอียดและได้อนุภาคนาโนซิลิกอนออกมาในที่สุด ผงของอนุภาคนาโนซิลิกอนจะถูกนำไป กระจายตัวในตัวทำละลายและกรองอย่างหยาบเพื่อกำจัดอนุภาคขนาดใหญ่ออกไปก่อน จากนั้นจึงใช้เทคนิค size-exclusion chromatography (SEC) มาทำการแยกอนุภาคขนาดเล็กออกจากกัน อนุภาคที่ได้จะถูกนำไป วิเคราะห์เช่นกัน Nanosilicon is the focus of intensive research for more than a decade due to its extremely promising properties for electronics and biological applications. It can be synthesized using a variety of techniques but the most promising is electrochemical etching of silicon wafers owing to low cost, simplicity of fabrication, and large quantity of nanoparticles obtained. However, a problem associated with this technique is the large size distribution of the nanoparticles. Hence, this work focuses on the separation of nanoparticle size. Highly porous silicon is the raw material for nanoparticles fabrication. It was fabricated by using electrochemical etching technique. The electrolyte solution was a mixture of hydrofluoric acid and ethanol in a 1:2 volume ratio. By applying appropriate current density, the resulted layers had the porosity more than 80%. The morphology of the layers was observed by SEM, TEM, Fluorescence Spectroscopy, Infrared Spectroscopy and Raman Spectroscopy. Next, mechanical grinding was performed so as to reduce the porous layers down to nanometer size. The resulted nanopowders were dispersed in solvent and pre-filtration was carried out in order to remove too large particles. Finally, size-exclusion chromatography (SEC) was applied to separate the nanoparticles into different uniform sizes. The obtained nanoparticles were also characterized.