| ชื่อเรื่อง | : | การวิจัยและพัฒนาขั้วไฟฟ้าของระบบ Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition |
| นักวิจัย | : | วิทยา อมรกิจบำรุง , Vittaya Amornkitbamrung |
| คำค้น | : | Capacitively couple radio frequency , CCRF , CD-B-22-1H-471 , การวิจัยและพัฒนา , การวิจัยและพัฒนาขั้วไฟฟ้า , มหาวิทยาลัยขอนแก่น , ระบบ Plasma enhanced chemical vapor deposition , สาขาวิทยาศาสตร์กายภาพและคณิตศาสตร์ , สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ , เทคโนโลยีพลังงาน |
| หน่วยงาน | : | สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2550 |
| อ้างอิง | : | http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/25051 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | - |
| บรรณานุกรม | : |
วิทยา อมรกิจบำรุง , Vittaya Amornkitbamrung . (2550). การวิจัยและพัฒนาขั้วไฟฟ้าของระบบ Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition.
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. วิทยา อมรกิจบำรุง , Vittaya Amornkitbamrung . 2550. "การวิจัยและพัฒนาขั้วไฟฟ้าของระบบ Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition".
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. วิทยา อมรกิจบำรุง , Vittaya Amornkitbamrung . "การวิจัยและพัฒนาขั้วไฟฟ้าของระบบ Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition."
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2550. Print. วิทยา อมรกิจบำรุง , Vittaya Amornkitbamrung . การวิจัยและพัฒนาขั้วไฟฟ้าของระบบ Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2550.
|
