| ชื่อเรื่อง | : | Simulation of Low Pressure Capacitive Transducer With Polysilicon Diaphragm on The Silicon Substrate for Hearing Aids Device |
| นักวิจัย | : | T. Arpautaipong , A. Kaewcharoen , Ekalak Chaowicharat , Karoon Saejok , Amporn Poyai , W. Titiroongruang , S. Supadech , เอกลักษณ์ เชาว์วิชารัตน์ , การุณ แซ่จอก , อัมพร โพธิ์ใย |
| คำค้น | : | Capacitive pressure transducer , Diaphragm , Hearing aids , Sensitivity , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ |
| หน่วยงาน | : | สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2549 |
| อ้างอิง | : | http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/19081 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | A capacitive single-chip silicon pressure transducer with polysilicon diaphragm has been simulated by using CoventorwareTM software tool. The simulation was performed by varying surface dimension 500*500, 1000*1000, 2000*2000, 3000*3000, 4000*4000, 5000*5000 µm2 and thickness of diaphragm in the range of 0.1-0.5 µm with initial pressure from 20 to 100 µPa. After applying simulated pressure, the displacement and surface area were collected for calculating trend of capacitance and sensitivity. Hence, the suitable condition can be used for low pressure capacitive microphone for hearing aids device fabrication in the future. |
| บรรณานุกรม | : |
T. Arpautaipong , A. Kaewcharoen , Ekalak Chaowicharat , Karoon Saejok , Amporn Poyai , W. Titiroongruang , S. Supadech , เอกลักษณ์ เชาว์วิชารัตน์ , การุณ แซ่จอก , อัมพร โพธิ์ใย . (2549). Simulation of Low Pressure Capacitive Transducer With Polysilicon Diaphragm on The Silicon Substrate for Hearing Aids Device.
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. T. Arpautaipong , A. Kaewcharoen , Ekalak Chaowicharat , Karoon Saejok , Amporn Poyai , W. Titiroongruang , S. Supadech , เอกลักษณ์ เชาว์วิชารัตน์ , การุณ แซ่จอก , อัมพร โพธิ์ใย . 2549. "Simulation of Low Pressure Capacitive Transducer With Polysilicon Diaphragm on The Silicon Substrate for Hearing Aids Device".
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. T. Arpautaipong , A. Kaewcharoen , Ekalak Chaowicharat , Karoon Saejok , Amporn Poyai , W. Titiroongruang , S. Supadech , เอกลักษณ์ เชาว์วิชารัตน์ , การุณ แซ่จอก , อัมพร โพธิ์ใย . "Simulation of Low Pressure Capacitive Transducer With Polysilicon Diaphragm on The Silicon Substrate for Hearing Aids Device."
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2549. Print. T. Arpautaipong , A. Kaewcharoen , Ekalak Chaowicharat , Karoon Saejok , Amporn Poyai , W. Titiroongruang , S. Supadech , เอกลักษณ์ เชาว์วิชารัตน์ , การุณ แซ่จอก , อัมพร โพธิ์ใย . Simulation of Low Pressure Capacitive Transducer With Polysilicon Diaphragm on The Silicon Substrate for Hearing Aids Device. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2549.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
