| ชื่อเรื่อง | : | ระบบสำรองจ่ายน้ำหล่อเย็น |
| นักวิจัย | : | จักรรินทร์ ลัทธิเดช , พงษ์พันธ์ ไชยปัญญา , สุรพันธ์ ทองรังสี , สุวัฒน์ โสภิตพันธ์ , อัมพร โพธิ์ใย , เจริญมิตร วรเดช , เสฐียรพงษ์ พุ่มพวง , ไพบูลย์ ขอมเดช |
| คำค้น | : | Emergency Cooling Water , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ |
| หน่วยงาน | : | สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2550 |
| อ้างอิง | : | http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/10693 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | เครื่องจักรที่ใช้ในกระบวนการผลิตไอซี มีระบบสนับสนุนที่สำคัญอยู่หลายส่วนด้วยกัน เช่น ระบบน้ำหล่อเย็น, ระบบน้ำ DI เป็นต้น ซึ่งแต่ล่ะเครื่องจักรก็จะมีความต้องการระบบสนับสนุนที่แตกต่างกันไป แต่ระบบที่เครื่องจักรทุกเครื่องต้องมีคือ ระบบน้ำหล่อเย็น ในปัจจุบันศูนย์เทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์ยังมีปัญหาเรื่องไฟฟ้าดับบ่อย ส่งผลให้ระบบน้ำหล่อเย็นขัดข้องบ่อยครั้ง ซึ่งเครื่องจักรที่ทำงานในอุหภูมิสูง ได้แก่ เครื่องจักร LPCVD และ เครื่องจักร Furnace จะต้องมีระบบน้ำหล่อเย็นจ่ายให้ตลอดเวลา ดังนั้นจำเป็นต้องสร้างระบบสำรองน้ำหล่อเย็นขึ้นมาเพื่อป้องกันความเสียหายที่จะเกิดขึ้นกับเครื่องจักร ดังนั้นรายงานฉบับนี้จะนำเสนอถึงหลักการทำงาน ส่วนประกอบ ขั้นตอนการสร้างและการทดสอบระบบต้นแบบระบบสำรองจ่ายน้ำหล่อเย็นสำหรับเครื่องจักร LPCVD และ เครื่องจักร Furnace |
| บรรณานุกรม | : |
จักรรินทร์ ลัทธิเดช , พงษ์พันธ์ ไชยปัญญา , สุรพันธ์ ทองรังสี , สุวัฒน์ โสภิตพันธ์ , อัมพร โพธิ์ใย , เจริญมิตร วรเดช , เสฐียรพงษ์ พุ่มพวง , ไพบูลย์ ขอมเดช . (2550). ระบบสำรองจ่ายน้ำหล่อเย็น.
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. จักรรินทร์ ลัทธิเดช , พงษ์พันธ์ ไชยปัญญา , สุรพันธ์ ทองรังสี , สุวัฒน์ โสภิตพันธ์ , อัมพร โพธิ์ใย , เจริญมิตร วรเดช , เสฐียรพงษ์ พุ่มพวง , ไพบูลย์ ขอมเดช . 2550. "ระบบสำรองจ่ายน้ำหล่อเย็น".
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. จักรรินทร์ ลัทธิเดช , พงษ์พันธ์ ไชยปัญญา , สุรพันธ์ ทองรังสี , สุวัฒน์ โสภิตพันธ์ , อัมพร โพธิ์ใย , เจริญมิตร วรเดช , เสฐียรพงษ์ พุ่มพวง , ไพบูลย์ ขอมเดช . "ระบบสำรองจ่ายน้ำหล่อเย็น."
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2550. Print. จักรรินทร์ ลัทธิเดช , พงษ์พันธ์ ไชยปัญญา , สุรพันธ์ ทองรังสี , สุวัฒน์ โสภิตพันธ์ , อัมพร โพธิ์ใย , เจริญมิตร วรเดช , เสฐียรพงษ์ พุ่มพวง , ไพบูลย์ ขอมเดช . ระบบสำรองจ่ายน้ำหล่อเย็น. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2550.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
