| ชื่อเรื่อง | : | การออกแบบตัวจับกระจกต้นแบบสำหรับใช้ในอ่างสารเคมี |
| นักวิจัย | : | ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , สุรพันธ์ ทองรังสี , สุวัฒน์ โสภิตพันธ์ , อัมพร โพธิ์ใย |
| คำค้น | : | Cleaning process , Photomask fabrication , กระบวนการสร้างกระจกต้นแบบ , กระบวนการสะอาด , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ |
| หน่วยงาน | : | สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2550 |
| อ้างอิง | : | http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/10657 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | งานวิจัยนี้ได้ทำการออกแบบตัวจับกระจกต้นแบบขนาด 6x6 นิ้ว สำหรับใช้งานในอ่างสารเคมี โดยใช้วัสดุไนลอนประเภท Superlene และทำการขึ้นรูป ณ.ศูนย์เทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์ แล้วทำการขัดผิวหน้าชิ้นงานด้วยกระดาษทราย จากการทดลองพบว่าตัวจับกระจกต้นแบบสามารถใช้งานได้ในสภาพการทำงานจริงได้อย่างมีประสิทธิภาพ ทำให้เป็นต้นแบบในการสร้างคัวจับชิ้นงานสำหรับชิ้นงานประเภทอื่นๆ อันจะนำมาซึ่งการลดต้นทุนการจัดซื้อจากต่างประเทศต่อไปในอนาคตได้ |
| บรรณานุกรม | : |
ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , สุรพันธ์ ทองรังสี , สุวัฒน์ โสภิตพันธ์ , อัมพร โพธิ์ใย . (2550). การออกแบบตัวจับกระจกต้นแบบสำหรับใช้ในอ่างสารเคมี.
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , สุรพันธ์ ทองรังสี , สุวัฒน์ โสภิตพันธ์ , อัมพร โพธิ์ใย . 2550. "การออกแบบตัวจับกระจกต้นแบบสำหรับใช้ในอ่างสารเคมี".
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , สุรพันธ์ ทองรังสี , สุวัฒน์ โสภิตพันธ์ , อัมพร โพธิ์ใย . "การออกแบบตัวจับกระจกต้นแบบสำหรับใช้ในอ่างสารเคมี."
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2550. Print. ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , สุรพันธ์ ทองรังสี , สุวัฒน์ โสภิตพันธ์ , อัมพร โพธิ์ใย . การออกแบบตัวจับกระจกต้นแบบสำหรับใช้ในอ่างสารเคมี. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2550.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
