ระบบเครื่องกลไฟฟ้าจุลภาค (MEMS) เป็นเทคโนโลยีที่แพร่หลาย ซึ่งจะทำให้เกิดพัฒนาการของระบบที่ประกอบไปด้วย sensors และ actuators การทำให้อุปกรณ์มีขนาดเล็กลง และผสมผสานระหว่างระบบทางกลและอิเล็กทรอนิกส์เข้าด้วยกัน (อย่างเช่น micromechanical, microfluidic, micro-optical, micromagnetic) มีผลให้อุปกรณ์เหล่านั้น มีขนาดเล็กและสิ้นเปลืองกำลังไฟน้องลงด้วย ในขณะเดียวกันก็จะเพิ่มประสิทธิภาพให้แก่ระบบมากขึ้น เพื่อให้เกิดผลกำไรทางการค้า จึงมีการผลักดันให้เกิดการพัฒนาและค้นคว้าทางด้าน MEMS ในมหาวิทยาลัยและสถาบันต่าง ๆ ทั่วโลก การค้นคว้าในด้านนี้จะต้องทำให้เกิดความเข้าใจในคุณสมบัติทางกายภาพของ อุปกรณ์ขนาดเล็ก, การคำนวณทางคณิตศาสตร์พร้อมทั้งการจำลองแบบ, ขบวนการผลิตของระบบเครื่องกลไฟฟ้าจุลภาค และการทดสอบระบบ ในการวิจัยนี้จะเริ่มต้นด้วยการออกแบบ an electrostatic actuator ร่วมกับ accelerometer sensor และใช้การควบคุมด้วย Closed loop control system สำหรับเป้าหมายของการวิจัยครั้งนี้ จะได้อุปกรณ์ต้นแบบอย่างน้อยที่สุด 2 แบบ โดยเทคนิค POLYMUMS และ CMOS รวมถึงการนำอุปกรณ์ต้นแบบไปประยุกต์ใช้กับเทคโนโลยี HDD, อุปกรณ์ตรวจวัดในรถยนต์ และ อุปกรณ์ทางการแพทย์ ในขั้นตอนต่อไปเราจะออกแบบ และประดิษฐ์อุปกรณ์ที่ประกอบไปด้วย micropump และ microvalves ซึ่งการวิจัยเบื้องต้นนี้ จะสามารถนำไปประยุกต์ใช้ในภาคอุตสาหกรรมอุปกรณ์ทางการแพทย์ต่อไป นอกจากผลผลิตดังกล่าวข้างต้นแล้ว จะก่อให้เกิดการพัฒนาองค์ความรู้และพัฒนานักวิจัยในสาขาวิชานี้ในประเทศไทยต่อไป