ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Fabrication of very high aspect micromold by SU-8 photolithography and electroforming.

หน่วยงาน Nanyang Technological University, Singapore

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Fabrication of very high aspect micromold by SU-8 photolithography and electroforming.
นักวิจัย : Zhang, Jun.
คำค้น : DRNTU::Engineering::Manufacturing.
หน่วยงาน : Nanyang Technological University, Singapore
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2550
อ้างอิง : Zhang, J. (2007). Fabrication of very high aspect micromold by SU-8 photolithography and electroforming. Doctoral thesis, Nanyang Technological University, Singapore. , http://hdl.handle.net/10356/5524
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

Microstructures with very high aspect ratio (VHAR) have diverse applications because the increased surface area leads to increased volume handling and sensitivity desired for many MicroElectro Systems (MEMS).

บรรณานุกรม :
Zhang, Jun. . (2550). Fabrication of very high aspect micromold by SU-8 photolithography and electroforming..
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Zhang, Jun. . 2550. "Fabrication of very high aspect micromold by SU-8 photolithography and electroforming.".
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Zhang, Jun. . "Fabrication of very high aspect micromold by SU-8 photolithography and electroforming.."
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2550. Print.
Zhang, Jun. . Fabrication of very high aspect micromold by SU-8 photolithography and electroforming.. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2550.