| ชื่อเรื่อง | : | An on-chip opto-mechanical accelerometer |
| นักวิจัย | : | Dong, Bin , Cai, H. , Tsai, J. M. , Kwong, Dim Lee , Liu, A. Q. |
| คำค้น | : | DRNTU::Engineering::Electrical and electronic engineering::Microelectromechanical systems |
| หน่วยงาน | : | Nanyang Technological University, Singapore |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2556 |
| อ้างอิง | : | Dong, B., Cai, H., Tsai, J. M., Kwong, D. L., & Liu, A. Q. (2013). An on-chip opto-mechanical accelerometer. 2013 IEEE 26th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), pp.641-644. , http://hdl.handle.net/10220/17546 , http://dx.doi.org/10.1109/MEMSYS.2013.6474323 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | Optically enabled accelerometers offer superior displacement resolution and resilience to electromagnetic interference, which brought benefits to a wide range of applications ranging from inertial navigation to consumer electronics [1, 2]. However, impossible chip scale integration hampered their practical applications [2]. In this paper, a novel in-plane opto-mechanical accelerometer is demonstrated, which employs Whisper Gallery Mode (WGM) ring resonator (RR) as a displacement sensor that monolithically integrated with a nano-tethered proof mass with high mechanical Q-factor. Utilizing design optimized for strong opto-mechanical interactions allows the detection with high sensitivity of 3.279 pm/g at low-power operation. |
| บรรณานุกรม | : |
Dong, Bin , Cai, H. , Tsai, J. M. , Kwong, Dim Lee , Liu, A. Q. . (2556). An on-chip opto-mechanical accelerometer.
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore. Dong, Bin , Cai, H. , Tsai, J. M. , Kwong, Dim Lee , Liu, A. Q. . 2556. "An on-chip opto-mechanical accelerometer".
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore. Dong, Bin , Cai, H. , Tsai, J. M. , Kwong, Dim Lee , Liu, A. Q. . "An on-chip opto-mechanical accelerometer."
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2556. Print. Dong, Bin , Cai, H. , Tsai, J. M. , Kwong, Dim Lee , Liu, A. Q. . An on-chip opto-mechanical accelerometer. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2556.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
