| ชื่อเรื่อง | : | A novel checker-patterned AlN MEMS resonator as gravimetric sensor |
| นักวิจัย | : | Heidari, Amir , Yoon, Yong-Jin , Lee, Man I. , Khine, Lynn , Park, Mi Kyoung , Tsai, Julius Ming-Lin |
| คำค้น | : | - |
| หน่วยงาน | : | Nanyang Technological University, Singapore |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2555 |
| อ้างอิง | : | Heidari, A., Yoon, Y.-J., Lee, M. I., Khine, L., Park, M. K., & Tsai, J. M. L. (2013). A novel checker-patterned AlN MEMS resonator as gravimetric sensor. Sensors and Actuators A: Physical, 189, 298-306. , 0924-4247 , http://hdl.handle.net/10220/17742 , http://dx.doi.org/10.1016/j.sna.2012.09.027 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | Sensors and actuators A: physical |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | This paper presents the design and experimental verification of a new class of piezoelectric aluminum nitride (AlN) resonator with checker-patterned electrode architecture for mass sensing applications. The mass sensitivity of the developed sensor is analytically derived and confirmed with FEM simulations and experimental results. The results show that a 773 MHz resonator has mass sensitivity of 175.42 μm2/ng and detection limit of 18.7 ng/cm2. The developed sensor has an obtained mass sensitivity of 2–3 times higher than that of state-of-the-art mass sensors and provides high potential for developed piezoelectric transducers for mass sensing applications. |
| บรรณานุกรม | : |
Heidari, Amir , Yoon, Yong-Jin , Lee, Man I. , Khine, Lynn , Park, Mi Kyoung , Tsai, Julius Ming-Lin . (2555). A novel checker-patterned AlN MEMS resonator as gravimetric sensor.
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore. Heidari, Amir , Yoon, Yong-Jin , Lee, Man I. , Khine, Lynn , Park, Mi Kyoung , Tsai, Julius Ming-Lin . 2555. "A novel checker-patterned AlN MEMS resonator as gravimetric sensor".
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore. Heidari, Amir , Yoon, Yong-Jin , Lee, Man I. , Khine, Lynn , Park, Mi Kyoung , Tsai, Julius Ming-Lin . "A novel checker-patterned AlN MEMS resonator as gravimetric sensor."
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2555. Print. Heidari, Amir , Yoon, Yong-Jin , Lee, Man I. , Khine, Lynn , Park, Mi Kyoung , Tsai, Julius Ming-Lin . A novel checker-patterned AlN MEMS resonator as gravimetric sensor. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2555.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
