ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

การจำลองการปลูกผลึกแบบโมเลกุลาร์บีมเอพิแทกซีภายใต้ผลของกำแพงศักย์แบบ Ehrlich - Schwoebel

หน่วยงาน ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : การจำลองการปลูกผลึกแบบโมเลกุลาร์บีมเอพิแทกซีภายใต้ผลของกำแพงศักย์แบบ Ehrlich - Schwoebel
นักวิจัย : สุนทร จรรยาวดี
คำค้น : ES BARRIER , MBE MODEL , MOUND
หน่วยงาน : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2547
อ้างอิง : http://www.thaithesis.org/detail.php?id=1082547001016
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

ในการปลูกฟิล์มแบบโมเลกุลาร์บีมเอพีแทกซี (เอ็มบีอี) อะตอมมีโอกาสที่จะเจอตำแหน่งที่ฟิล์มมีความสูงต่างกันขณะเคลื่อนที่อยู่บนผิวของฟิล์ม โดยอะตอมจะต้องผ่านกำแพงศักย์ขณะที่เคลื่อนที่จากชั้นที่ฟิล์มมีความสูงมากกว่าลงมายังชั้นที่มีความสูงน้อยกว่า กำแพงศักย์นี้เรียกว่ากำแพงศักย์Ehrlich-Schwoebel (ES) ในงานนี้ได้ศึกษาถึงผลของกำแพงศักย์แบบ ES ที่มีต่อการปลูกฟิล์มแบบเอ็มบีอี โดยใช้แบบจำลองเอ็มบีอีซึ่งเป็นแบบจำลองแบบไม่ต่อเนื่อง บนแผ่นรองรับหนึ่งมิติ จากการศึกษาพบว่าเกิดเนิน (mound) ขึ้นที่ผิวของฟิล์มโดยเป็นกลุ่มขนาดใหญ่เมื่อกำแพงศักย์มีค่าน้อย และจะมีขนาดเล็กเมื่อมีกำแพงศักย์มีค่ามาก การศึกษาสมบัติของกลุ่มอะตอม เช่น รัศมีเฉลี่ยและความสูงเฉลี่ย ที่เปลี่ยนแปลงตามเวลาทำให้สามารถแบ่งกระบวนการปลูกฟิล์มได้เป็นสองช่วง ในช่วงแรกกลุ่มของอะตอมแต่ละกลุ่มจะรวมตัวกันทำให้รัศมีของกลุ่มอะตอมมีค่าเพิ่มขึ้น ต่อจากนั้นในช่วงที่สองการรวมตัวกันของกลุ่มอะตอมจะช้ามากทำให้รัศมีของกลุ่มอะตอมมีค่าเกือบจะคงที่ และอะตอมที่มาจากแหล่งกำเนิดจะรวมตัวเป็นฟิล์มที่ส่วนบนของกลุ่มอะตอมเหล่านั้น ทำให้ความสูงเฉลี่ยของกลุ่มอะตอมเพิ่มขึ้นตลอดกระบวนการปลูกฟิล์ม

บรรณานุกรม :
สุนทร จรรยาวดี . (2547). การจำลองการปลูกผลึกแบบโมเลกุลาร์บีมเอพิแทกซีภายใต้ผลของกำแพงศักย์แบบ Ehrlich - Schwoebel.
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย.
สุนทร จรรยาวดี . 2547. "การจำลองการปลูกผลึกแบบโมเลกุลาร์บีมเอพิแทกซีภายใต้ผลของกำแพงศักย์แบบ Ehrlich - Schwoebel".
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย.
สุนทร จรรยาวดี . "การจำลองการปลูกผลึกแบบโมเลกุลาร์บีมเอพิแทกซีภายใต้ผลของกำแพงศักย์แบบ Ehrlich - Schwoebel."
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย, 2547. Print.
สุนทร จรรยาวดี . การจำลองการปลูกผลึกแบบโมเลกุลาร์บีมเอพิแทกซีภายใต้ผลของกำแพงศักย์แบบ Ehrlich - Schwoebel. กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย; 2547.