| ชื่อเรื่อง | : | การจำลองการปลูกผลึกแบบโมเลกุลาร์บีมเอพิแทกซีภายใต้ผลของกำแพงศักย์แบบ Ehrlich - Schwoebel |
| นักวิจัย | : | สุนทร จรรยาวดี |
| คำค้น | : | ES BARRIER , MBE MODEL , MOUND |
| หน่วยงาน | : | ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2547 |
| อ้างอิง | : | http://www.thaithesis.org/detail.php?id=1082547001016 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | ในการปลูกฟิล์มแบบโมเลกุลาร์บีมเอพีแทกซี (เอ็มบีอี) อะตอมมีโอกาสที่จะเจอตำแหน่งที่ฟิล์มมีความสูงต่างกันขณะเคลื่อนที่อยู่บนผิวของฟิล์ม โดยอะตอมจะต้องผ่านกำแพงศักย์ขณะที่เคลื่อนที่จากชั้นที่ฟิล์มมีความสูงมากกว่าลงมายังชั้นที่มีความสูงน้อยกว่า กำแพงศักย์นี้เรียกว่ากำแพงศักย์Ehrlich-Schwoebel (ES) ในงานนี้ได้ศึกษาถึงผลของกำแพงศักย์แบบ ES ที่มีต่อการปลูกฟิล์มแบบเอ็มบีอี โดยใช้แบบจำลองเอ็มบีอีซึ่งเป็นแบบจำลองแบบไม่ต่อเนื่อง บนแผ่นรองรับหนึ่งมิติ จากการศึกษาพบว่าเกิดเนิน (mound) ขึ้นที่ผิวของฟิล์มโดยเป็นกลุ่มขนาดใหญ่เมื่อกำแพงศักย์มีค่าน้อย และจะมีขนาดเล็กเมื่อมีกำแพงศักย์มีค่ามาก การศึกษาสมบัติของกลุ่มอะตอม เช่น รัศมีเฉลี่ยและความสูงเฉลี่ย ที่เปลี่ยนแปลงตามเวลาทำให้สามารถแบ่งกระบวนการปลูกฟิล์มได้เป็นสองช่วง ในช่วงแรกกลุ่มของอะตอมแต่ละกลุ่มจะรวมตัวกันทำให้รัศมีของกลุ่มอะตอมมีค่าเพิ่มขึ้น ต่อจากนั้นในช่วงที่สองการรวมตัวกันของกลุ่มอะตอมจะช้ามากทำให้รัศมีของกลุ่มอะตอมมีค่าเกือบจะคงที่ และอะตอมที่มาจากแหล่งกำเนิดจะรวมตัวเป็นฟิล์มที่ส่วนบนของกลุ่มอะตอมเหล่านั้น ทำให้ความสูงเฉลี่ยของกลุ่มอะตอมเพิ่มขึ้นตลอดกระบวนการปลูกฟิล์ม |
| บรรณานุกรม | : |
สุนทร จรรยาวดี . (2547). การจำลองการปลูกผลึกแบบโมเลกุลาร์บีมเอพิแทกซีภายใต้ผลของกำแพงศักย์แบบ Ehrlich - Schwoebel.
กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย. สุนทร จรรยาวดี . 2547. "การจำลองการปลูกผลึกแบบโมเลกุลาร์บีมเอพิแทกซีภายใต้ผลของกำแพงศักย์แบบ Ehrlich - Schwoebel".
กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย. สุนทร จรรยาวดี . "การจำลองการปลูกผลึกแบบโมเลกุลาร์บีมเอพิแทกซีภายใต้ผลของกำแพงศักย์แบบ Ehrlich - Schwoebel."
กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย, 2547. Print. สุนทร จรรยาวดี . การจำลองการปลูกผลึกแบบโมเลกุลาร์บีมเอพิแทกซีภายใต้ผลของกำแพงศักย์แบบ Ehrlich - Schwoebel. กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย; 2547.
|
