| ชื่อเรื่อง | : | การสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรโดยวิธีการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ |
| นักวิจัย | : | สุจิรา พรหมนิมิตร |
| คำค้น | : | DIAMOND LIKE CARBON THIN FILM , INDUCTIVELY COUPLE PLASMA , DISCHARGE HYSTERESIS , RAMANSPECTRUM , RF-PECVD IN A PLANAR COIL |
| หน่วยงาน | : | ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2546 |
| อ้างอิง | : | http://www.thaithesis.org/detail.php?id=1082546001351 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | งานวิจัยนี้ได้ทำการสร้างและพัฒนาระบบการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ (RF-PECVD) ควบผ่านขดลวดเหนี่ยวนำระบบ โดยเครื่องกำเนิดความถี่วิทยุที่ 13.56 MHz เป็นต้นกำลัง ก๊าซผสมระหว่างก๊าซไฮโดรเจน และก๊าซมีเทนถูกส่งเข้าสู่ระบบเพื่อเป็นตัวกลางพลาสมา เพื่อใช้ในการเคลือบฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรบนแผ่นรองรับ ได้แก่ อะลูมิเนียม และกระจกสไลด์ เมื่อกระบวนการสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรเสร็จสิ้น พิล์มที่ได้นำไปวิเคราะห์ด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกวาด และการวิเคราะห์โครงสร้างของฟิล์มด้วยวิธีรามานสเปกโทรสโกปี |
| บรรณานุกรม | : |
สุจิรา พรหมนิมิตร . (2546). การสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรโดยวิธีการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ.
กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย. สุจิรา พรหมนิมิตร . 2546. "การสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรโดยวิธีการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ".
กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย. สุจิรา พรหมนิมิตร . "การสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรโดยวิธีการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ."
กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย, 2546. Print. สุจิรา พรหมนิมิตร . การสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรโดยวิธีการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ. กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย; 2546.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
