| ชื่อเรื่อง | : | การสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรโดยวิธีการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ |
| นักวิจัย | : | สุจิรา พรหมนิมิตร |
| คำค้น | : | ฟิล์มบาง , พลาสมา , กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกน , รามานสเปกโทรสโกปี |
| หน่วยงาน | : | จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย |
| ผู้ร่วมงาน | : | บุญโชติ เผ่าสวัสดิ์ยรรยง , กิรณันต์ รัตนธรรมพันธ์ , จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. คณะวิทยาศาสตร์ |
| ปีพิมพ์ | : | 2546 |
| อ้างอิง | : | 9741737262 , http://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/5730 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | วิทยานิพนธ์ (วท.ม.)--จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2546 งานวิจัยนี้ได้ทำการพัฒนาระบบการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ (RF-PECVD) ควบผ่านขดลวดเหนี่ยวนำระนาบ โดยใช้เครื่องกำเนิดความถี่วิทยุที่ 13.56 MHz เป็นต้นกำลัง ก๊าซผสมระหว่างก๊าซไฮโดรเจน และก๊าซมีเทนถูกส่งเข้าสู่ระบบเพื่อเป็นตัวกลางพลาสมา เพื่อใช้ในการเคลือบฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรบนแผ่นรองรับ ได้แก่ อะลูมิเนียม และกระจกสไลด์ เมื่อกระบวนการสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรเสร็จสิ้น ฟิล์มที่ได้นำไปวิเคราะห์ด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกวาดและการวิเคราะห์โครงสร้างของฟิล์มด้วยวิธีรามานสเปกโทรสโกปี |
| บรรณานุกรม | : |
สุจิรา พรหมนิมิตร . (2546). การสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรโดยวิธีการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ.
กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. สุจิรา พรหมนิมิตร . 2546. "การสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรโดยวิธีการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ".
กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. สุจิรา พรหมนิมิตร . "การสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรโดยวิธีการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ."
กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2546. Print. สุจิรา พรหมนิมิตร . การสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรโดยวิธีการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ. กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย; 2546.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
