ในวิทยานิพนธ์นี้ กระบวนการในการตรวจสอบประสิทธิภาพของเครื่องมือวัดถูกพัฒนาโดยใช้ข้อมูลการวัดจากการผลิต เพื่อที่จะแทนที่กระบวนการปัจจุบันซึ่งเป็นการใช้ชิ้นส่วนมาตรฐาน 3 ชิ้น วัดบนเครื่องมือวัดที่ต้องการจะตรวจสอบ การดำเนินการได้ใช้แนวทางของซิกซ์ซิกม่า ซึ่งมีเทคนิคและเครื่องมือที่ช่วยให้วิทยานิพนธ์สำเร็จลุล่วงอย่างมีประสิทธิภาพ กระบวนการปัจจุบันที่ใช้ในการตรวจสอบประสิทธิภาพของเครื่องมือวัดมีประสิทธิผลในการตรวจับต่ำซึ่งเห็นได้จากการที่เครื่องมือวัดต้องถูกปิดเพื่อรับการแก้ไขโดยไม่จำเป็น เมื่อมีการแสดงว่า SPC นั้นอยู่นอกการควบคุมซึ่งสาเหตุของการอยู่นอกการควบคุมนั้น ส่วนใหญ่มาจากชิ้นส่วนมาตรฐานที่ใช้ในการตรวจสอบ จึงเห็นประสิทธิผลแค่ 30% ซึ่งได้มาจากระบบการวัด จึงได้นำข้อมูลการวัดจากการผลิตมาใช้เพื่อที่จะแก้ปัญหาที่เกิดขึ้นดังกล่าว กระบวนการในการตรวจสอบประสิทธิภาพของเครื่องมือวัดถูกเปลี่ยนไปใช้ระบบใหม่ โดยใช้ซิกซ์ซิกมาเป็นแนวทางเพื่อให้บรรลุวัตถุประสงค์ของวิทยานิพนธ์ ในการใช้ซิกซ์ซิกมานั้น ในช่วงของการวัด ปัญหาและสาเหตุถูกบ่งชี้อย่างละเอียดโดยใช้แผนภูมิก้างปลาแผนภูมิพาเรโต้ และ FMEA ซึ่งปัญหาถูกพบมาจากการเสื่อมถอยของชิ้นส่วนมาตรฐานที่ใช้ในการทดสอบเป็นผลให้ชิ้นส่วนนั้นให้ค่าที่ซ้ำน้อย นอกจากนี้ข้อด้อยอื่นของการใช้กระบวนการปัจจุบันยังถูกบ่งชี้ด้วยตัวอย่าง เช่น การขึ้นอยู่กับชิ้นงานที่น้อยเกินไป และการขาดความรู้ความเข้าใจเกี่ยวกับขั้นตอนการปฏิบัติงานและการวิเคราะห์ สำหรับช่วงการวิเคราะห์นั้น ข้อมูลการวัดจากการผลิตถูกวิเคราะห์เพื่อดูความสัมพันธ์ของ wafer quadที่เหมือนกัน ซึ่งพบว่า ชิ้นส่วนที่สร้างจาก wafer quad เดียวกัน มีความสัมพันธ์ที่ขึ้นต่อกัน (correlation) ซึ่งให้ความแตกต่างในค่าเฉลี่ยของประชากรอย่างไม่มีนัยสำคัญ ดังนั้นในช่วงการปรับปรุงความสัมพันธ์ของ waferquad เดียวกัน จึงถูกใช้ในการตรวจจับการเปลี่ยนแปลงที่อยู่นอกการควบคุมบนSPC ซึ่งเมื่อการเปลี่ยนแปลงดังกล่าวก่อให้เกิดการเปลี่ยนแปลงในค่าเฉลี่ยอย่างมีนัยสำคัญเมื่อเปรียบเทียบกับเครื่องมือวัดตัวเดียวกัน ณ เวลาต่างกันเครื่องมือวัดตัวอื่น ๆ ณ เวลาเดียวกัน หรือเครื่องวัดตัวอื่น ๆ ณ เวลาต่างกัน บนพื้นฐานของ wafer quad เดียวกัน เครื่องมือวัดตัวนั้น ๆ จะถูกพิจารณาเพื่อที่จะจัดการกับปัญหาที่เกิดขึ้น ผลของการวิเคราะห์ดังกล่าวได้ถูกแสดงไว้บนเวบไซด์ภายในของบริษัท ซึ่งจัดเตรียมข้อมูลเพื่อช่วยในการตัดสินใจเกี่ยวกับประสิทธิภาพของเครื่องมือวัด ท้ายที่สุดเป็นช่วงของการควบคุมซึ่งถูกดำเนินการโดย การทบทวนระบบเป็นระยะ ๆ การศึกษารายงานประจำสัปดาห์การติดตามผลการปฏิบัติงาน การดำเนินการตามแผนการควบคุมและอื่น ๆ เนื่องจากว่าระบบใหม่ถูกใช้เพื่อการควบคุมประสิทธิภาพของเครื่องมือวัดจึงได้ประโยชน์มากมาย ซึ่งก็คือ การประหยัดจากการที่ชิ้นส่วนผ่านการวัดมากขึ้น การลดเวลาเสียของเครื่องมืดวัด การที่ความเสี่ยงของลูกค้าลดลงการลดลงของต้นทุน เช่น ต้นทุนของชิ้นส่วนมาตรฐาน ต้นทุนของการสร้างชิ้นส่วนมาตรฐาน และต้นทุนการปฏิบัติงานโดยพนักงาน ยิ่งกว่านั้น วิธีการใหม่นี้ยังส่งผลให้บรรลุวัตถุประสงค์โดยเพิ่มประสิทธิผลในการตรวจจับประสิทธิภาพของเครื่องมือวัดถึง 78%