วิทยานิพนธ์ (วศ.ม.)--จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2553

การสังเคราะห์ฟิล์มคาร์บอนคล้ายเพชรของเป้าผสมซัลเฟอร์กับแกรไฟต์ ทำโดยการตกสะสมโดยดีซีแมกนีตรอนสปัตเตอริงที่ความดัน 8 x 10¯² ทอร์ ในระบบบรรยากาศแก็สอาร์กอนที่อัตราการไหล 2 sccm ทำให้เกิดฟิล์มคาร์บอนคล้ายเพชรเจือด้วยซัลเฟอร์ เป้าผสมซัลเฟอร์กับแกรไฟต์ทำจากการผสมผงซัลเฟอร์กับแกรไฟต์ที่จำนวนร้อยละของโมล่าร์ของซัลเฟอร์แตกต่างกัน เช่น 0%, 2%, 5%, 8% และ 10% ฟิล์มคาร์บอนคล้ายเพชรเจือด้วยซัลเฟอร์ถูกปลูกลงบนแผ่นรองรับซิลิกอนและควอตซ์ ที่ความหนาแน่นกำลังไฟฟ้า เวลา และจำนวนร้อยละของโมล่าร์ของซัลเฟอร์ที่มีต่อสมบัติทางไฟฟ้า ทางแสง ทางกายภาพ และทางโครงสร้างของฟิล์มได้ถูกศึกษา ฟิล์มคาร์บอนคล้ายเพชรเจือด้วยซัลเฟอร์ในงานนี้ มีค่าสภาพนำไฟฟ้าของฟิล์มคาร์บอนคล้ายเพชรและฟิล์มคาร์บอนคล้ายเพชรอยู่ในช่วง 2.82X10¯² (Ω cm)¯¹ ถึง 1.84X10¯³ (Ω cm)¯¹ และค่าสภาพนำไฟฟ้าของฟิล์มคาร์บอนคล้ายเพชรเจือด้วยซัลเฟอร์อยู่ในช่วง 5.95X10¯¹ (Ω cm)¯¹ ถึง 6.39X10¯³ (Ω cm)¯¹ สอดคล้องกับค่าแถบพลังงานของฟิล์มคาร์บอนคล้ายเพชรและฟิล์มคาร์บอนคล้ายเพชรเจือด้วยซัลเฟอร์ในช่วง 1.066-1.967 และ1.08-2.38 อิเล็กตรอนโวลต์ ตามลำดับ ลักษณะพื้นผิวหน้าของฟิล์มพบอนุภาคระดับไมครอนกระจายบนพื้นผิว เมื่อวิเคราะห์ลักษณะโครงสร้างด้วยรามานสเปกโทรสโกปีที่อัตราส่วนปริมาณคาร์บอนต่อซัลเฟอร์ 0-10% ปรากฎสเปกตรัมรามานที่ปรากฎพีค D และพีค G ที่ตำแหน่งเลขคลื่น 1413 และ 1573 cm¯¹ ตามลำดับ แต่เมื่อเพิ่มปริมาณซัลเฟอร์ 2-10% พบว่าตำแหน่งพีค G เลื่อนลงจากเลขคลื่น 1573 ไปที่เลขคลื่น 1477 cm¯¹ และอัตราส่วน ID/IG เพิ่มขึ้นจาก 0.43 ไป 0.52 แสดงถึงความเป็นเพชรเพิ่มมากขึ้น