| ชื่อเรื่อง | : | Piezoelectric films using hybrid technology for ultrasonic array and electronic device applications. |
| นักวิจัย | : | Chao, Chen. |
| คำค้น | : | DRNTU::Engineering::Electrical and electronic engineering::Electronic systems. |
| หน่วยงาน | : | Nanyang Technological University, Singapore |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2549 |
| อ้างอิง | : | Chao, C. (2006). Piezoelectric films using hybrid technology for ultrasonic array and electronic device applications. Doctoral thesis, Nanyang Technological University, Singapore. , http://hdl.handle.net/10356/3404 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | Lead zirconate titanate (PZT) films are promising for MEMS type micro-devices applications because of their high electromechanical coupling coefficients and excellent piezoelectric properties. PZT piezoelectric film integrated on silicon substrate for various MEMS devices has been the subject of considerable attention in recent years. In this thesis, a broad range of work is presented, including the deposition of PZT films onto silicon substrates, the development of a novel interferometric system and related method for piezoelectric characterization of PZT films, as well as the design and fabrication of diaphragm-type piezoelectric micromachined ultrasonic transducer arrays. |
| บรรณานุกรม | : |
Chao, Chen. . (2549). Piezoelectric films using hybrid technology for ultrasonic array and electronic device applications..
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore. Chao, Chen. . 2549. "Piezoelectric films using hybrid technology for ultrasonic array and electronic device applications.".
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore. Chao, Chen. . "Piezoelectric films using hybrid technology for ultrasonic array and electronic device applications.."
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2549. Print. Chao, Chen. . Piezoelectric films using hybrid technology for ultrasonic array and electronic device applications.. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2549.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
