Development of metal vapor vacuum arc ion source in Thailand

ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Development of metal vapor vacuum arc ion source in Thailand

หน่วยงาน ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง	:	Development of metal vapor vacuum arc ion source in Thailand
นักวิจัย	:	ยู เหลียงเติ้ง
คำค้น	:	-
หน่วยงาน	:	ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี
ผู้ร่วมงาน	:	-
ปีพิมพ์	:	2544
อ้างอิง	:	-
ที่มา	:	-
ความเชี่ยวชาญ	:	-
ความสัมพันธ์	:	-
ขอบเขตของเนื้อหา	:	-
บทคัดย่อ/คำอธิบาย	:	A metal vapor vacuum arc (MEVVA) ion source has been constructed and installed at Chiang Mai University. The cathode–insulator–trigger electrode system and the cooling efficiency were found to be reliable during the source operation (without the cathode-insulator replacement), with total number of pulses of approximately 3×10⁵ and with the repetition rate of up to 5.5 pps at 200 A arc current. The main arc and plasma ion current–voltage characteristics have been measured. The maximum plasma ion saturation current obtained at 3 cm distance from the cathode was approximately 6 A and the coefficient of transformation of the arc current to the ion current was found to approach 3%. Preliminary experiments with copper film deposition on some dielectric substrates are discussed.
บรรณานุกรม	:	APA Chicago MLA Vancouver ยู เหลียงเติ้ง . (2544). Development of metal vapor vacuum arc ion source in Thailand. กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี. ยู เหลียงเติ้ง . 2544. "Development of metal vapor vacuum arc ion source in Thailand". กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี. ยู เหลียงเติ้ง . "Development of metal vapor vacuum arc ion source in Thailand." กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี, 2544. Print. ยู เหลียงเติ้ง . Development of metal vapor vacuum arc ion source in Thailand. กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี; 2544.