ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

High quality crystalline ZnO buffer layers on sapphire (001) by pulsed laser deposition for III-V nitrides

หน่วยงาน ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี

รายละเอียด

Bookmark
ชื่อเรื่อง : High quality crystalline ZnO buffer layers on sapphire (001) by pulsed laser deposition for III-V nitrides
นักวิจัย : สุภาพ ชูพันธ์
คำค้น : -
หน่วยงาน : ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2540
อ้างอิง : -
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :



ZnOthin films with near perfect crystallinity have been grown epitaxially on sapphire (001) by pulsed laser deposition technique. The ω-rocking curve full width at half-maximum of the ZnO(002) peak for the filmsgrown at 750 °C, oxygen pressure 10−5 Torr10−5 Torr was 0.17°. The high degree of crystallinity was confirmed by ion channeling technique providing a minimum Rutherford backscattering yield of 2%–3% in the near-surface region (∼2000 Å).(∼2000 Å). The atomic force microscopy revealed smooth hexagonal faceting of the ZnOfilms. It has been possible to deposit epitaxial AlN films of thickness 1000 Å on epi-ZnO/sapphire. Excellent crystalline properties of these epi-ZnO/sapphire heterostructures are, thus, promising for lattice-matched substrates for III–V nitride heteroepitaxy and optoelectronics devices.
บรรณานุกรม :
สุภาพ ชูพันธ์ . (2540). High quality crystalline ZnO buffer layers on sapphire (001) by pulsed laser deposition for III-V nitrides.
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี.
สุภาพ ชูพันธ์ . 2540. "High quality crystalline ZnO buffer layers on sapphire (001) by pulsed laser deposition for III-V nitrides".
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี.
สุภาพ ชูพันธ์ . "High quality crystalline ZnO buffer layers on sapphire (001) by pulsed laser deposition for III-V nitrides."
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี, 2540. Print.
สุภาพ ชูพันธ์ . High quality crystalline ZnO buffer layers on sapphire (001) by pulsed laser deposition for III-V nitrides. กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี; 2540.
แชร์

« กลับ

ค้นหา

งานวิจัยเพิ่มเติม (เจ้าของผลงาน)

จำนวนผู้ดูรายละเอียด