ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Ion milling damage and regrowth of oxide substrates studied by ion channeling and atomic force microscopy

หน่วยงาน ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี

รายละเอียด

Bookmark
ชื่อเรื่อง : Ion milling damage and regrowth of oxide substrates studied by ion channeling and atomic force microscopy
นักวิจัย : สุภาพ ชูพันธ์
คำค้น : -
หน่วยงาน : ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2540
อ้างอิง : -
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :



We have studied the effect of ion milling on the surface crystallinity of the metal oxide substrates LaAlO3,LaAlO3,SrTiO3,SrTiO3, and NdGaO3NdGaO3 which are used for fabrication of high-TcTcJosephson junctions and circuits. Ion channeling of the milled substrates reveals a damage-induced peak corresponding to a disordered layer of ≈60 Å≈60 Å at the surface.Annealing the substrates in oxygen ambient at various temperatures ranging from 600 to 1100 °C resulted in the regrowth of the damaged layer at the surface of the substrates as was indicated by the reduction in size of the surface peak observed in the channeled spectrum, as well as by formation of lattice steps as seen by atomic force microscopy. A significant reduction in the damage peak size and the formation of smooth completed lattice steps are seen only after annealing at temperatures ⩾950 °C.
บรรณานุกรม :
สุภาพ ชูพันธ์ . (2540). Ion milling damage and regrowth of oxide substrates studied by ion channeling and atomic force microscopy.
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี.
สุภาพ ชูพันธ์ . 2540. "Ion milling damage and regrowth of oxide substrates studied by ion channeling and atomic force microscopy".
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี.
สุภาพ ชูพันธ์ . "Ion milling damage and regrowth of oxide substrates studied by ion channeling and atomic force microscopy."
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี, 2540. Print.
สุภาพ ชูพันธ์ . Ion milling damage and regrowth of oxide substrates studied by ion channeling and atomic force microscopy. กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี; 2540.
แชร์

« กลับ

ค้นหา

งานวิจัยเพิ่มเติม (เจ้าของผลงาน)

จำนวนผู้ดูรายละเอียด