Stoichiometry and thickness variation of YBa2Cu3O7-x in pulsed laser deposition with a shadow mask

ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Stoichiometry and thickness variation of YBa2Cu3O7-x in pulsed laser deposition with a shadow mask

หน่วยงาน ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง	:	Stoichiometry and thickness variation of YBa2Cu3O7-x in pulsed laser deposition with a shadow mask
นักวิจัย	:	สุภาพ ชูพันธ์
คำค้น	:	-
หน่วยงาน	:	ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี
ผู้ร่วมงาน	:	-
ปีพิมพ์	:	2540
อ้างอิง	:	-
ที่มา	:	-
ความเชี่ยวชาญ	:	-
ความสัมพันธ์	:	-
ขอบเขตของเนื้อหา	:	-
บทคัดย่อ/คำอธิบาย	:	The deposition of particulate species, typically seen in pulsed laser deposition can be eliminated by the deployment of a line-of-sight shadow technique. Since the technique uses the discrimination between ballistic and diffusive species, it is important to understand the lateral stoichiometry and thickness dependence under various deposition conditions. We present in this study the dependence of the lateral thickness and stoichiometry of YBa2Cu3O7−x deposited by a shadow mask pulsed laser technique on the background oxygen pressure and the shadow mask position from the target. We determined Y atoms to be limiting the lateral stoichiometric uniformity. Due to its diffusive nature, shadowed pulsed laser deposition also allowed us to improve the thickness uniformity across the wafer.
บรรณานุกรม	:	APA Chicago MLA Vancouver สุภาพ ชูพันธ์ . (2540). Stoichiometry and thickness variation of YBa2Cu3O7-x in pulsed laser deposition with a shadow mask. กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี. สุภาพ ชูพันธ์ . 2540. "Stoichiometry and thickness variation of YBa2Cu3O7-x in pulsed laser deposition with a shadow mask". กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี. สุภาพ ชูพันธ์ . "Stoichiometry and thickness variation of YBa2Cu3O7-x in pulsed laser deposition with a shadow mask." กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี, 2540. Print. สุภาพ ชูพันธ์ . Stoichiometry and thickness variation of YBa2Cu3O7-x in pulsed laser deposition with a shadow mask. กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลโครงสร้างพื้นฐานภาครัฐด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี; 2540.