เครื่องเคลือบชิ้นงานโดยใช้หลักการสปัตเตอรี่ เพื่อเคลือบชิ้นงานตัวอย่างสำหรับใช้กับกล้องจุลทรรศน์อิเลกตรอนแบบกวาด (Scanning electron microscope sputtter/coater) ได้มีการวิจัยและพัฒนามาอย่างต่อเนื่อง เครื่องเคลือบดังกล่าวที่ใช้งานกันโดยทั่วไปมีอยู่ 2 อย่าง คือ ประเภทแรกเป็นแบบที่ประกอบด้วยแม่เหล็กถาวรและอีกชนิดหนึ่งไม่มีแม่เหล็ก แต่ชินดที่นิยมใช้งานกันอย่างแพร่หลายคือเครื่องเคลือบที่มีแม่เหล็กถาวร เพราะว่าทำให้เกิดปสัตเตอรี่บริเวณเป้าสารเคลือบที่เป็นโลหะเกิดขึ้นได้ง่ายและใช้พลังงานที่ต่ำกว่าเครื่องเคลือบที่ไม่มีแม่เหล็ก ส่วนประกอบหลักที่สำคัญที่ใช้ในเครื่องเคลือบชิ้นงาน มีดังนี้ 1.แหล่งจ่ายกำลังงานไฟฟ้ากระแสตรง (DC power supply) ที่มีแรงดันไฟฟ้าประมาณ 800 โวลท์ กระแส 100 มิลลิแอมป์ 2.หัวสปัตเตอร์ที่ทำด้วยโลหะสเตนเลสพร้อมทั้งเป้าสารเคลือบ (Target) ที่ทำด้วยทองคำบริสุทธิ์ 99.9% 3.ชุดฐานรองรับเครื่องเคลือบชิ้นงานและระบบสุญญากาศ 4.การติดตั้งปั๊มสุญญากาศ เกจวัดความดันและระบบการส่งจ่ายแก๊สที่ประกอบด้วยชุดควบคุมการไหลของแก๊สเข้ากับระบบสุญญากาศ

Scanning electron microscope sputter/coater (SEM sputter/coater) has been researched and developed for a long time. It is an equipment for coating metals onto substrate that is used in a scanning electron microscope. There are two types of the SEM sputter/coater, one consists of permanent magnets, and there is no any magnets in the other. However, the first one is widely used because it is to sputter atom of a target and also has a low power consumption.The principal accssories of the SEM sputter/coater are as follow:1.High voltage DC power supply which capacities of 800 vots and 100 milliamperes.2.Supporting cathode is made of stainless steel and its target is made of 99.9% of dold._x000D_ 3.Supporting base of substrate and vacuum system.4.Installing vacuum pump,presure gauge and regulator gas delivery system to vacuum system.