| ชื่อเรื่อง | : | Simulation of Curl Compensation in MEMS Micromirror |
| นักวิจัย | : | Adisorn Tuantranont , K. Hemarat , Anurat Wisitsoraat , อดิสร เตือนตรานนท์ , การวิก เหมะรัต , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ |
| คำค้น | : | Curl compensation , MEMS , Micromirror , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ |
| หน่วยงาน | : | สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2549 |
| อ้างอิง | : | http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/16285 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | This paper reports a design to compensate overlapping area reduction in MEMS Micromirror. The electromechanical behavior of a 300x300 m mirror actuated by electrostatic comb drive is simulated by CoventorWareTM. The interdigitated fingers are 240 m long and 20 m wide separated by 20 m gap. The displacement of the mirror is compared when the frame of stator is released and fixed. The simulation shows that released-frame stator produces more displacement in z direction than fixed-frame stator by the factor of 3 when 50V DC voltage is applied. The improvement in micromirror actuation is as a result of the increase of overlapping area provided by curl compensation with released-frame approach. Therefore, the released-frame design is a promising method to reduce input voltage and enhance efficiency of electrostatic comb drive micromirror./This paper reports a design to compensate overlapping area reduction in MEMS Micromirror. The electromechanical behavior of a 300x300 m mirror actuated by electrostatic comb drive is simulated by CoventorWareTM. The interdigitated fingers are 240 m long and 20 m wide separated by 20 m gap. The displacement of the mirror is compared when the frame of stator is released and fixed. The simulation shows that released-frame stator produces more displacement in z direction than fixed-frame stator by the factor of 3 when 50V DC voltage is applied. The improvement in micromirror actuation is as a result of the increase of overlapping area provided by curl compensation with released-frame approach. Therefore, the released-frame design is a promising method to reduce input voltage and enhance efficiency of electrostatic comb drive micromirror. |
| บรรณานุกรม | : |
Adisorn Tuantranont , K. Hemarat , Anurat Wisitsoraat , อดิสร เตือนตรานนท์ , การวิก เหมะรัต , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ . (2549). Simulation of Curl Compensation in MEMS Micromirror.
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. Adisorn Tuantranont , K. Hemarat , Anurat Wisitsoraat , อดิสร เตือนตรานนท์ , การวิก เหมะรัต , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ . 2549. "Simulation of Curl Compensation in MEMS Micromirror".
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. Adisorn Tuantranont , K. Hemarat , Anurat Wisitsoraat , อดิสร เตือนตรานนท์ , การวิก เหมะรัต , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ . "Simulation of Curl Compensation in MEMS Micromirror."
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2549. Print. Adisorn Tuantranont , K. Hemarat , Anurat Wisitsoraat , อดิสร เตือนตรานนท์ , การวิก เหมะรัต , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ . Simulation of Curl Compensation in MEMS Micromirror. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2549.
|
