| ชื่อเรื่อง | : | ต้นแบบอุปกรณ์กรองแสงนำไฟฟ้าจากฟิล์มบางอินเดียมทินออกซีไนไตรด์ |
| นักวิจัย | : | ชาญเดช หรูอนันต์ , จิติ หนูแก้ว , ศุภนิจ พรธีระภัทร , อภิชาติ สังข์ทอง , อัมพร โพธิ์ใย , Charndet Hruanun , Jiti Nukaew , Supanit Porntheeraphat , Apichart Sungthong , Amporn Poyai |
| คำค้น | : | Conductive Optical Filter , ITON , Optical physics , Optics and opto-electronic physics , Oxynitride , Physical sciences , RF magnetron sputtering , rf sputtering , Thin films , ฟิล์มบาง , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , สาขาวิศวกรรมศาสตร์และอุตสาหกรรมวิจัย , อาร์เอฟแมกนีตรอนสปัตเตอริง , อินเดียมทินออกซิไนไตรด์ , อุปกรณ์กรองแสงนำไฟฟ้า |
| หน่วยงาน | : | สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2550 |
| อ้างอิง | : | http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/10927 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | อุปกรณ์กรองแสงนำไฟฟ้าจากฟิล์มบางอินเดยมทินออกซีไนไตรด์ (Indium Tin Oxide Nitride Optical Filter) สามารถใช้ในการกรองแสงได้ตั้งแต่ย่านอัลตราไวโอเลต (UV) จนถึงเขียว (Green) ซึ่งนำไปประยุกต์ใช้งานที่เกี่ยวข้องกับการกรองแสงย่านดังกล่าวและฟิล์มบางที่ได้ยังมีสมบัติการนำไฟฟ้าอีกด้วย ฟิล์มบางอินเดยมทินออกซีไนไตรด์ (ITON) สามารถถูกปลูกให้มีสมบัติการกรองแสงตามความยาวคลื่นย่านที่ต้องการได้โดยการเปลี่ยนแปลงเงื่อนไขในการปลูกฟิล์ม ฟิล์มบางที่นำมาสร้างเป็นสิ่งประดิษฐ์ชนิดนี้ถูกปลูกโดยใช้ระบบอาร์เอฟแมกนีตรอนสปัตเตอริง (RF Magnetron Sputtering) ซึ่งใช้เป้าสารเคลือบเป็นสารประกอบอินเดียมทินออกไซด์ (Indium Tin Oxide; ITO) ที่มีส่วนประกอบโดยน้ำหนักเป็น In 90% Sn2O3 10% ได้ทำการควบคุมอัตราการไหลของกาซอาร์กอน (Ar) และกาซไนโตรเจน (N2) ที่มีความบริสุทธิ์ 99.999% เข้าไปผสมกันทำพลาสมาเพื่อจะสปัตเป้าสารเคลือบอินเดียมทินออกไซด์ โดยที่ฟิล์มมีความหนา 1 ไมโครเมตรจะถูกปลูกบนฐานรองรับเป็นแผ่นแก้วใส (Glass) ซึ่งจะสามารถนำไปใช้เป็นฟิลเตอร์ทางแสงได้โดยตรงไม่ต้องผ่านกระบวนการสร้างเพิ่มเติมอื่นๆ ต่อไปอีก |
| บรรณานุกรม | : |
ชาญเดช หรูอนันต์ , จิติ หนูแก้ว , ศุภนิจ พรธีระภัทร , อภิชาติ สังข์ทอง , อัมพร โพธิ์ใย , Charndet Hruanun , Jiti Nukaew , Supanit Porntheeraphat , Apichart Sungthong , Amporn Poyai . (2550). ต้นแบบอุปกรณ์กรองแสงนำไฟฟ้าจากฟิล์มบางอินเดียมทินออกซีไนไตรด์.
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. ชาญเดช หรูอนันต์ , จิติ หนูแก้ว , ศุภนิจ พรธีระภัทร , อภิชาติ สังข์ทอง , อัมพร โพธิ์ใย , Charndet Hruanun , Jiti Nukaew , Supanit Porntheeraphat , Apichart Sungthong , Amporn Poyai . 2550. "ต้นแบบอุปกรณ์กรองแสงนำไฟฟ้าจากฟิล์มบางอินเดียมทินออกซีไนไตรด์".
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. ชาญเดช หรูอนันต์ , จิติ หนูแก้ว , ศุภนิจ พรธีระภัทร , อภิชาติ สังข์ทอง , อัมพร โพธิ์ใย , Charndet Hruanun , Jiti Nukaew , Supanit Porntheeraphat , Apichart Sungthong , Amporn Poyai . "ต้นแบบอุปกรณ์กรองแสงนำไฟฟ้าจากฟิล์มบางอินเดียมทินออกซีไนไตรด์."
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2550. Print. ชาญเดช หรูอนันต์ , จิติ หนูแก้ว , ศุภนิจ พรธีระภัทร , อภิชาติ สังข์ทอง , อัมพร โพธิ์ใย , Charndet Hruanun , Jiti Nukaew , Supanit Porntheeraphat , Apichart Sungthong , Amporn Poyai . ต้นแบบอุปกรณ์กรองแสงนำไฟฟ้าจากฟิล์มบางอินเดียมทินออกซีไนไตรด์. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2550.
|
