| ชื่อเรื่อง | : | กระบวนการถ่ายย่อแบบลายวงจรสำหรับแมกนีโตทรานซิสเตอร์ พี เอ็น พี หลังกระบวนการสร้างชั้นโลหะ |
| นักวิจัย | : | จักรรินทร์ ลัทธิเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อัมพร โพธิ์ใย |
| คำค้น | : | ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , แมกนีโตทรานซิสเตอร์ Magneto transistor |
| หน่วยงาน | : | สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2551 |
| อ้างอิง | : | http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/10765 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | กระบวนการถ่ายย่อแบบลายวงจรสำหรับแมกนีโตทรานซิสเตอร์ พี เอ็น พี หลังกระบวนการสร้างชั้นโลหะ เป็นกระบวนการสร้างชั้นลายโลหะ และชั้นลายป้องกันความชื้นของอุปกรณ์ โดยสร้างโดยการฉายแสงผ่านกระจกต้นแบบชั้นโลหะลงบนฟิล์มน้ำยาไวแสง และล้างออกด้วยน้ำยาล้างฟิล์มไวแสงออก ซึ่งได้เป็นลวดลายชั่วคราวบนชั้นฟิล์มโลหะ เพื่อนำไปกัดเป็นลวดลายโลหะถาวรด้วยกระบวนการกัด และหลังจากกระบวนการกัดทำการปลูกชั้นฟิล์มฉนวน และสร้างลวดลายชั่วคราวบนฟิล์มไวแสงอีกครั้งด้วยการฉายแสงผ่านกระจกต้นแบบชั้นลายป้องกันฉนวน และกัดเพื่อทำการเปิดขั้วโลหะเพื่อทำการวัดคุณสมบัติทางไฟฟ้าของตัวอุปกรณ์ โดยรายงานนี้กล่าวถึงเงื่อนไขที่เหมาะสมที่สุดของค่าพารามิเตอร์ต่างๆ ของกระบวนการถ่ายย่อแบบลายวงจรที่ใช้สร้างแมกนีโตทรานซิสเตอร์ พี เอ็น พี |
| บรรณานุกรม | : |
จักรรินทร์ ลัทธิเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อัมพร โพธิ์ใย . (2551). กระบวนการถ่ายย่อแบบลายวงจรสำหรับแมกนีโตทรานซิสเตอร์ พี เอ็น พี หลังกระบวนการสร้างชั้นโลหะ.
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. จักรรินทร์ ลัทธิเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อัมพร โพธิ์ใย . 2551. "กระบวนการถ่ายย่อแบบลายวงจรสำหรับแมกนีโตทรานซิสเตอร์ พี เอ็น พี หลังกระบวนการสร้างชั้นโลหะ".
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. จักรรินทร์ ลัทธิเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อัมพร โพธิ์ใย . "กระบวนการถ่ายย่อแบบลายวงจรสำหรับแมกนีโตทรานซิสเตอร์ พี เอ็น พี หลังกระบวนการสร้างชั้นโลหะ."
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2551. Print. จักรรินทร์ ลัทธิเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อัมพร โพธิ์ใย . กระบวนการถ่ายย่อแบบลายวงจรสำหรับแมกนีโตทรานซิสเตอร์ พี เอ็น พี หลังกระบวนการสร้างชั้นโลหะ. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2551.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
