| ชื่อเรื่อง | : | การสร้างลวดลายทดสอบค่าดัชนีการสะท้อนของแสงบนชั้นฟิล์มอลูมินัมด้วยกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร |
| นักวิจัย | : | จักรพงศ์ ศุภเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , นริชพันธ์ เป็นผลดี , นิธิ อัตถิ , วิน บรรจงปรุ , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย , เกษม ตันธนะศิริวงศ์ |
| คำค้น | : | Aluminum film , Photolithography , Reflective index , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ |
| หน่วยงาน | : | สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2551 |
| อ้างอิง | : | http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/10753 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | รายงานฉบับนี้กล่าวถึงการสร้างลวดลายทดสอบดัชนีการสะท้อนกลับของแสง (Reflective index) เมื่อส่องแสงผ่านช่องเปิดขนาดเล็กที่สร้างด้วยกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร (Photolithography) บนชั้นฟิล์มอลูมินัมบนแผ่นซิลิกอน ซึ่งเป็นการรับงานวิจัยจากมหาวิทยาลัยขอนแก่น จากผลการทดลองพบว่า ศูนย์เทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์ (TMEC) สามารถพัฒนากระบวนการผลิต เพื่อสร้างลวดลายขนาด 2 ไมครอน ด้วยเครื่อง Mask aligner ได้ อย่างไรก็ตามพบว่า ความสม่ำเสมอในการกัด ความหนานของชั้นฟิล์มน้ำยาไวแสง และกระบวนการกัดแบบแห้งนั้น ส่งผลโดยตรงกับการควบคุมขนาดของลายวงจร และจัดเป็นตัวแปรที่จะต้องทำการควบคุมต่อไป |
| บรรณานุกรม | : |
จักรพงศ์ ศุภเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , นริชพันธ์ เป็นผลดี , นิธิ อัตถิ , วิน บรรจงปรุ , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย , เกษม ตันธนะศิริวงศ์ . (2551). การสร้างลวดลายทดสอบค่าดัชนีการสะท้อนของแสงบนชั้นฟิล์มอลูมินัมด้วยกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร.
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. จักรพงศ์ ศุภเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , นริชพันธ์ เป็นผลดี , นิธิ อัตถิ , วิน บรรจงปรุ , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย , เกษม ตันธนะศิริวงศ์ . 2551. "การสร้างลวดลายทดสอบค่าดัชนีการสะท้อนของแสงบนชั้นฟิล์มอลูมินัมด้วยกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร".
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. จักรพงศ์ ศุภเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , นริชพันธ์ เป็นผลดี , นิธิ อัตถิ , วิน บรรจงปรุ , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย , เกษม ตันธนะศิริวงศ์ . "การสร้างลวดลายทดสอบค่าดัชนีการสะท้อนของแสงบนชั้นฟิล์มอลูมินัมด้วยกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร."
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2551. Print. จักรพงศ์ ศุภเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , นริชพันธ์ เป็นผลดี , นิธิ อัตถิ , วิน บรรจงปรุ , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย , เกษม ตันธนะศิริวงศ์ . การสร้างลวดลายทดสอบค่าดัชนีการสะท้อนของแสงบนชั้นฟิล์มอลูมินัมด้วยกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2551.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
