| ชื่อเรื่อง | : | การออกแบบกระจกต้นแบบขนาดใหม่ เพื่อลดต้นทุนในกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร |
| นักวิจัย | : | จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย |
| คำค้น | : | Exposure tools , Photomask , กระจกต้นแบบ , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , เครื่องถ่ายแบบลายวงจร , แบบลายวงจร |
| หน่วยงาน | : | สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2550 |
| อ้างอิง | : | http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/10714 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | กระจกต้นแบบขนาดพิเศษนั้น สามารถนำไปใช้กับเครื่องถ่ายแบบลายวงจร Ultratech Stepper รุ่น Nanotech-190 ของบริษัท Western Digital (บางปะอิน) ประเทศไทย จำกัด ได้ โดยไม่จำเป็นต้องมี Metal guide ทำให้ประหยัดต้นทุนการสั่งซื้อกระจกต้นแบบถึง 2 เท่า นอกจากนี้ยังจำเป็นต้องหาความสัมพันธ์ทางตำแหน่งระหว่างเครื่องสร้างกระจกต้นแบบกับเครื่องถ่ายแบบลายวงจร เพื่อกำหนดตำแหน่งที่ถูกต้องในการสร้าง Fiducial alignment mark เพื่อให้กระจกต้นแบบขนาดใหม่นี้สามารถใช้กับเครื่องจักรแบบอัตโนมัติได้ต่อไป โดยงานวิจัยนี้ได้รับการชำระเงินจาก WDB เป็นจำนวน 200,000 บาท |
| บรรณานุกรม | : |
จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . (2550). การออกแบบกระจกต้นแบบขนาดใหม่ เพื่อลดต้นทุนในกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร.
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . 2550. "การออกแบบกระจกต้นแบบขนาดใหม่ เพื่อลดต้นทุนในกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร".
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . "การออกแบบกระจกต้นแบบขนาดใหม่ เพื่อลดต้นทุนในกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร."
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2550. Print. จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . การออกแบบกระจกต้นแบบขนาดใหม่ เพื่อลดต้นทุนในกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2550.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
