| ชื่อเรื่อง | : | การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระจกต้นแบบชนิดเกรย์สเกล |
| นักวิจัย | : | กฤษฏา เสียงแจ้ว , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย |
| คำค้น | : | การถ่ายแบบลายวงจรด้วยเทคนิคเกรย์สเกล , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , เครื่องจักรกลไฟฟ้าจุลภาค |
| หน่วยงาน | : | สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2550 |
| อ้างอิง | : | http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/10654 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | โครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ที่ต้องการความหนาลายวงจรหลายระดับขั้น อาจมีผนังลายวงจรที่ตั้งตรง, ลาดเอียงหรือรูปร่างโค้ง สร้างได้โดยการถ่ายแบบลายวงจรด้วยเทคนิคเกรย์สเกลด้วยการฉายแสงและการกัดเพียงครั้งเดียว โดยลายวงจรต้องประกอบไปด้วยขนาดของช่องเปิด (Pixels) และช่องปิด (Pitch) ของแสงที่มีขนาดเล็กกว่าความละเอียดของเครื่องถ่ายย่อแบบลายวงจร (Stepper) จากการทดลองพบว่าสามารถสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ที่มีรูปร่างขั้นบันไดลงบนชั้นฟิล์มน้ำยาไวแสงชนิดบวกเบอร์ AZ-P4620 ความหนา 10 ไมครอน ด้วยการฉายแสงเพียงครั้งเดียวผ่านกระจกต้นแบบ ที่ขนาดของ Pixel ตั้งแต่ 1.4 ถึง 2.2 ไมครอน ทั้งนี้เพื่อเป็นแนวทางในการประยุกต์เทคนิคเกรย์สเกลเพื่อสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ รูปร่างอื่นๆ ต่อไป |
| บรรณานุกรม | : |
กฤษฏา เสียงแจ้ว , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . (2550). การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระจกต้นแบบชนิดเกรย์สเกล.
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. กฤษฏา เสียงแจ้ว , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . 2550. "การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระจกต้นแบบชนิดเกรย์สเกล".
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. กฤษฏา เสียงแจ้ว , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . "การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระจกต้นแบบชนิดเกรย์สเกล."
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2550. Print. กฤษฏา เสียงแจ้ว , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระจกต้นแบบชนิดเกรย์สเกล. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2550.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
