| ชื่อเรื่อง | : | การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระจกต้นแบบความหนาชั้นฟิล์มหลายระดับ |
| นักวิจัย | : | จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย |
| คำค้น | : | กระจกต้นแบบชนิดเกรย์สเ , กระบวนการถ่ายแบบลายวงจร , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , โครงสร้างจุลภาค 3 มิติ |
| หน่วยงาน | : | สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2550 |
| อ้างอิง | : | http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/10651 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ สามารถทำได้โดยใช้กระจกต้นแบบชนิดความหนาชั้นฟิล์มหลายระดับ (Multi-Film Thickness Mask, MFT-Mask) ซึ่งสามารถสร้างได้ด้วยกระบวนการสร้างต้นแบบลายวงจรแบบ Binary mask แบบปกติ โดยมีหลักสำคัญคือ “เมื่อความหนาของชั้นฟิล์มโครเมียมหรือชั้นฟิล์มที่ทำจากวัสดุชนิดอื่นเปลี่ยนไป พลังงานของแสงที่ฉายผ่านกระจกต้นแบบลงไปที่ชั้นฟิล์มน้ำยาไวแสงก็เปลี่ยนไปด้วย”โดยเทคนิคนี้จะมีต้นทุนการผลิตต่ำกว่าการสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ โดยใช้ต้นแบบชนิดเกรย์สเกล ซึ่งอาจเป็นเทคโนโลยีสำหรับการผลิตเครื่องจักรกลไฟฟ้าจุลภาคต่อไปในอนาคต |
| บรรณานุกรม | : |
จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . (2550). การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระจกต้นแบบความหนาชั้นฟิล์มหลายระดับ.
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . 2550. "การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระจกต้นแบบความหนาชั้นฟิล์มหลายระดับ".
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . "การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระจกต้นแบบความหนาชั้นฟิล์มหลายระดับ."
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2550. Print. จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระจกต้นแบบความหนาชั้นฟิล์มหลายระดับ. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2550.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
