| ชื่อเรื่อง | : | การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยเทคนิคการปรับเปลี่ยนค่าพลังงานในการฉายแสง |
| นักวิจัย | : | กฤษฏา เสียงแจ้ว , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย |
| คำค้น | : | การถ่ายแบบลายวงจรด้วยเทคนิคเกรย์สเกล , การปรับเปลี่ยนค่าพลังงาน , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ |
| หน่วยงาน | : | สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2550 |
| อ้างอิง | : | http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/10648 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | การปรับเปลี่ยนพลังงานแสงในกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร พร้อมกับการเลื่อนตำแหน่งของชิ้นงานนั้น สามารถสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ที่มีผนังลายวงจรตั้งตรงได้เช่นเดียวกับการถ่ายแบบลายวงจรด้วยเทคนิคเกรย์สเกล แต่ประหยัดเวลาและต้นทุนการผลิตมากกว่า เทคนิคนี้จึงเป็นทางเลือกสำหรับกระบวนการสร้างเครื่องจักรกลไฟฟ้าจุลภาคต่อไปในอนาคต |
| บรรณานุกรม | : |
กฤษฏา เสียงแจ้ว , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . (2550). การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยเทคนิคการปรับเปลี่ยนค่าพลังงานในการฉายแสง.
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. กฤษฏา เสียงแจ้ว , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . 2550. "การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยเทคนิคการปรับเปลี่ยนค่าพลังงานในการฉายแสง".
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. กฤษฏา เสียงแจ้ว , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . "การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยเทคนิคการปรับเปลี่ยนค่าพลังงานในการฉายแสง."
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2550. Print. กฤษฏา เสียงแจ้ว , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยเทคนิคการปรับเปลี่ยนค่าพลังงานในการฉายแสง. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2550.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
