โครงการวิจัยและพัฒนาเซ็นเซอร์อัจฉริยะด้วยเทคโนโลยีระบบเครื่องกลไฟฟ้าจุลภาค เป็นโครงการความร่วมมือกันระหว่างมหาวิทยาลัย บริษัทเอกชน และ หน่วยงานภายในของเนคเทค เพื่อทำวิจัยและพัฒนาเกี่ยวกับสิ่งประดิษฐ์ที่ใช้เทคโนโลยีระบบเครื่องกลไฟฟ้าจุลภาค หน่วยงานที่ร่วมได้แก่ ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ ห้องปฏิบัติการระบบเครื่องกลไฟฟ้าจุลภาค ศูนย์เทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ศูนย์พัฒนาธุรกิจออกแบบวงจรรวม สถาบันเทคโนโลยีแห่งเอเชีย (AIT) มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี บริษัท Silicon Craft จำกัด This project is program-based funding and in-house R&D focused on Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) technology. The goal of the project is to establish infrastructure of MEMS research in Thailand. The output of program is the micro environment monitoring system based on MEMS technology. In the program, it consisted of MEMS Laboratory, NECTEC , TMEC , TIDI, Asian Institute of Technology, King Mongkut University of Technology, Suranaree University of Technology, Silicon Craft Co., Ltd.