| ชื่อเรื่อง | : | การพัฒนาสิ่งประดิษฐ์สารกึ่งตัวนำชนิดฟิล์มบางเพชรด้วยวิธี MPCVD (ระยะที่ 2) |
| นักวิจัย | : | สมศักดิ์ เชียร์ศิริกุล , เติมพงษ์ เพ็ชรกูล , Somsak Cheirsirikul , Toempong Phetchakul |
| คำค้น | : | Detectors , Instruments and techniques , Physical sciences , Prototypes, Engineering , Semiconductor materials and devices , Semiconductors , Sensors , ต้นแบบ , ฟิล์มบาง , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , สาขาวิศวกรรมศาสตร์และอุตสาหกรรมวิจัย , สารกึ่งตัวนำ , อุปกรณ์ตรวจจับ , เซนเซอร์ |
| หน่วยงาน | : | สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2551 |
| อ้างอิง | : | http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/829 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | การพัฒนาสิ่งประดิษฐ์สารกึ่งตัวนำชนิดฟิล์มบางเพชรด้วยวิธี MPCVD ระยะที่ 2 จะดำเนินการพัฒนาต้นแบบเซนเซอร์แสง UV ชนิดฟิล์มบางเพชร โดยสังเคราะห์ฟิล์มบางเพชรชนิดอินทรินซิกและชนิด P ด้วยระบบ MPCVD ในเงื่อนไขที่เหมาะสมให้ได้ความหนา 6 m นำไปสร้างเป็นเซนเซอร์บนไดอะแฟรมฟิล์มบางเพชร ขนาดพื้นที่ที่ไวต่อแสง 4 mm2 ที่มีโครงสร้างเป็นชอตต์กีโฟโตไดโอดแบบแนวดิ่ง โดยใช้โลหะ Al เป็นรอยสัมผัสชอตต์กีและใช้โลหะ Ti/Au เป็นรอยสัมผัสโอห์มิค ในการเก็บบรรจุ ได้ใช้พลาสม่าของระบบ MPCVD ทำการกัดฟิล์มบางเพชรเพื่อตัดแยกตัวอุปกรณ์และเก็บบรรจุในตัวถัง TO สำหรับเซนเซอร์ที่สร้างเสร็จสมบูรณ์ จะทำการวัดค่าคุณลักษณะกระแสและแรงดัน ค่าความจุไฟฟ้ารอยต่อ ค่าความไวกระแสแสงตั้งแต่ช่วงความยาวคลื่น 190-800 nm ค่ากระแสมืด เวลาในการตอบสนองแสง UV และวัดเสถียรภาพที่อุณหภูมิ 25-250 OC |
| บรรณานุกรม | : |
สมศักดิ์ เชียร์ศิริกุล , เติมพงษ์ เพ็ชรกูล , Somsak Cheirsirikul , Toempong Phetchakul . (2551). การพัฒนาสิ่งประดิษฐ์สารกึ่งตัวนำชนิดฟิล์มบางเพชรด้วยวิธี MPCVD (ระยะที่ 2).
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. สมศักดิ์ เชียร์ศิริกุล , เติมพงษ์ เพ็ชรกูล , Somsak Cheirsirikul , Toempong Phetchakul . 2551. "การพัฒนาสิ่งประดิษฐ์สารกึ่งตัวนำชนิดฟิล์มบางเพชรด้วยวิธี MPCVD (ระยะที่ 2)".
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. สมศักดิ์ เชียร์ศิริกุล , เติมพงษ์ เพ็ชรกูล , Somsak Cheirsirikul , Toempong Phetchakul . "การพัฒนาสิ่งประดิษฐ์สารกึ่งตัวนำชนิดฟิล์มบางเพชรด้วยวิธี MPCVD (ระยะที่ 2)."
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2551. Print. สมศักดิ์ เชียร์ศิริกุล , เติมพงษ์ เพ็ชรกูล , Somsak Cheirsirikul , Toempong Phetchakul . การพัฒนาสิ่งประดิษฐ์สารกึ่งตัวนำชนิดฟิล์มบางเพชรด้วยวิธี MPCVD (ระยะที่ 2). ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2551.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
