ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

การออกแบบและพัฒนา Diffractive Optical Element (DOE) บนแผ่นเซนเซอร์ สำหรับเครื่องเอสพีอาร์แบบภาพขนาดเล็ก

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : การออกแบบและพัฒนา Diffractive Optical Element (DOE) บนแผ่นเซนเซอร์ สำหรับเครื่องเอสพีอาร์แบบภาพขนาดเล็ก
นักวิจัย : สกุลกานต์ บุญเรือง , สถาพร จันทน์หอม , สุวรรณี ผู้เจริญชนะชัย , โกษม ไชยถาวร , อาโมทย์ สมบูรณ์แก้ว , บุญส่ง สุตะพันธ์ , Sakoolkan Boonruang , Sataporn Chanhorm , Suwannee Phoojaruenchanachai , Kosom Chaitavon , Armote Somboonkaew , Boonsong Sutapun
คำค้น : Communication technologies , Diffractive Optical Element , Engineering and technology , Holographic interferometry , Optical and photonic systems , การเลี้ยวเบนของแสง , การแทรกสอดของสำแสงเลเซอร์ , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , สาขาเทคโนโลยีสารสนเทศและนิเทศศาสตร์ , อุปกรณ์เลี้ยวเบนแสง , เครื่องเอสพีอาร์ , โฟโทนิกส์ , โฮโลกราฟฟิกอินเทอร์เฟียร์โรเมตรี
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2552
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/502
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

โครงการนี้เน้นการออกแบบและพัฒนาอุปกรณ์เลี้ยวเบนแสงขนาดเล็ก ที่เรียกว่า Diffractive Optical Element (DOE) โครงสร้างดังกล่าวจะใช้แทนที่อุปกรณ์หักเหแสงขนาดใหญ่ กล่าวคือ ปริซึม ในเครื่องตรวจสารชีวภาพเอสพีอาร์ ในที่นี้ DOEที่มีขนาดเล็กกว่าปริซึมมากจะถูกผนวกลงบนผิวอีกด้านหนึ่งของแผ่นเซนเซอร์ชิพ การจัดแสงเพื่อใช้ร่วมกับอุปกรณ์เลี่ยวเบนแสงแบบนี้มีความซับซ้อนน้อยกว่าแบบเดิม เนื่องจากแสงจะตกกระทบในแนวตั้งฉากกับแผ่นเซนเซอร์ชิพ ทำให้สามารถลดขนาดของเครื่องเอสพีอาร์จากเดิมที่เป็นแบบตั้งโต๊ะให้มีขนาดเล็กลงอย่างมาก การใช้งานของเครื่องเอสพีอาร์แบบใหม่นี้จะเน้นการทำงานในภาคสนาม โดยผู้ใช้กำหนดจำนวนและรูปร่างของจุดวัดให้คงที่ (Pre-defined sensing spots) ในงานวิจัยนี้จะพัฒนาอุปกรณ์เลี้ยวเบนแสง DOE โดยใช้เทคนิคการสร้างลวดลายโฮโลกราฟฟิกอินเทอร์เฟียร์โรเมตรี (Holographic interferometry) หรือ อาศัยเทคนิคการแทรกสอดของสำแสงเลเซอร์ โดยยิงลำแสงแทรกสอดลงบนฟิล์มไวแสงโดยตรง จากนั้นลวดลายจะถูกกัดเซาะบนเซนเซอร์ชิพด้วยสารเคมี (Wet etching) เทคนิคดังกล่าวเป็นเทคนิคที่ง่าย ราคาถูก เหมาะสมกับงานวิจัยนี้ จะเห็นได้ว่ามีขั้นตอนการสร้างลวดลาย DOEบนฟิล์มไวแสงเพียงขั้นตอนเดียว เมื่อเทียบกับเทคนิคการสร้างลวดลายที่ใช้ในงานด้านไมโครชิพ อย่างเช่นเทคนิคลิโทกราฟฟีแบบลำแสงอิเล็กตรอน (Electron beam lithography) หรือเทคนิคโฟโตลิโทกราฟฟี (Photo lithography) ซึ่งเป็นการสร้างลวดลายแบบไม่ต่อเนื่อง ในทีนี้ ลวดลาย DOE เป็นแบบต่อเนื่อง ดังนั้นจำเป็นต้องใช้โฟโตมาสก (photomask) หลายชิ้น และบันทึกลวดลายหลายครั้ง กล่าวคือต้นทุนการผลิตที่สูงขึ้น โครงการวิจัยนี้จะแบ่งเป็นสองส่วน คือ การออกแบบและพัฒนาอุปกรณ์เลี้ยวเบนแสง DOE บนเซนเซอร์ชิพ และ การออกแบบและพัฒนาเครื่องเอสพีอาร์อาร์เรย์ขนาดเล็ก

บรรณานุกรม :
สกุลกานต์ บุญเรือง , สถาพร จันทน์หอม , สุวรรณี ผู้เจริญชนะชัย , โกษม ไชยถาวร , อาโมทย์ สมบูรณ์แก้ว , บุญส่ง สุตะพันธ์ , Sakoolkan Boonruang , Sataporn Chanhorm , Suwannee Phoojaruenchanachai , Kosom Chaitavon , Armote Somboonkaew , Boonsong Sutapun . (2552). การออกแบบและพัฒนา Diffractive Optical Element (DOE) บนแผ่นเซนเซอร์ สำหรับเครื่องเอสพีอาร์แบบภาพขนาดเล็ก.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
สกุลกานต์ บุญเรือง , สถาพร จันทน์หอม , สุวรรณี ผู้เจริญชนะชัย , โกษม ไชยถาวร , อาโมทย์ สมบูรณ์แก้ว , บุญส่ง สุตะพันธ์ , Sakoolkan Boonruang , Sataporn Chanhorm , Suwannee Phoojaruenchanachai , Kosom Chaitavon , Armote Somboonkaew , Boonsong Sutapun . 2552. "การออกแบบและพัฒนา Diffractive Optical Element (DOE) บนแผ่นเซนเซอร์ สำหรับเครื่องเอสพีอาร์แบบภาพขนาดเล็ก".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
สกุลกานต์ บุญเรือง , สถาพร จันทน์หอม , สุวรรณี ผู้เจริญชนะชัย , โกษม ไชยถาวร , อาโมทย์ สมบูรณ์แก้ว , บุญส่ง สุตะพันธ์ , Sakoolkan Boonruang , Sataporn Chanhorm , Suwannee Phoojaruenchanachai , Kosom Chaitavon , Armote Somboonkaew , Boonsong Sutapun . "การออกแบบและพัฒนา Diffractive Optical Element (DOE) บนแผ่นเซนเซอร์ สำหรับเครื่องเอสพีอาร์แบบภาพขนาดเล็ก."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2552. Print.
สกุลกานต์ บุญเรือง , สถาพร จันทน์หอม , สุวรรณี ผู้เจริญชนะชัย , โกษม ไชยถาวร , อาโมทย์ สมบูรณ์แก้ว , บุญส่ง สุตะพันธ์ , Sakoolkan Boonruang , Sataporn Chanhorm , Suwannee Phoojaruenchanachai , Kosom Chaitavon , Armote Somboonkaew , Boonsong Sutapun . การออกแบบและพัฒนา Diffractive Optical Element (DOE) บนแผ่นเซนเซอร์ สำหรับเครื่องเอสพีอาร์แบบภาพขนาดเล็ก. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2552.