| ชื่อเรื่อง | : | Large scale low cost fabrication of diameter controllable silicon nanowire arrays |
| นักวิจัย | : | Sun, Leimeng , Fan, Yu , Wang, Xinghui , Agung Susantyoko, Rahmat , Zhang, Qing |
| คำค้น | : | DRNTU::Engineering::Electrical and electronic engineering::Nanoelectronics |
| หน่วยงาน | : | Nanyang Technological University, Singapore |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2557 |
| อ้างอิง | : | Sun, L., Fan, Y., Wang, X., Agung, Susantyoko, R., & Zhang, Q. (2014). Large scale low cost fabrication of diameter controllable silicon nanowire arrays. Nanotechnology, 25(25). , 0957-4484 , http://hdl.handle.net/10220/24497 , http://dx.doi.org/10.1088/0957-4484/25/25/255302 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | Nanotechnology |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | We report on a novel solution etching method to fabricate vertically aligned aperiodic silicon nanowire (SiNW) arrays. We begin with a simple dewetting process to fabricate a monolayer of well-spaced metal particles in situ on a silicon wafer. The particles function as a sacrificial template to pattern a Ti/Au catalyst film into a metal mesh and the size of particles directly determines the diameter of SiNW. A conventional metal-assisted chemical etching process is then carried out with the obtained metal mesh as a catalyst to realize a vertically aligned SiNW array at a large scale and low cost. MOE (Min. of Education, S’pore) |
| บรรณานุกรม | : |
Sun, Leimeng , Fan, Yu , Wang, Xinghui , Agung Susantyoko, Rahmat , Zhang, Qing . (2557). Large scale low cost fabrication of diameter controllable silicon nanowire arrays.
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore. Sun, Leimeng , Fan, Yu , Wang, Xinghui , Agung Susantyoko, Rahmat , Zhang, Qing . 2557. "Large scale low cost fabrication of diameter controllable silicon nanowire arrays".
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore. Sun, Leimeng , Fan, Yu , Wang, Xinghui , Agung Susantyoko, Rahmat , Zhang, Qing . "Large scale low cost fabrication of diameter controllable silicon nanowire arrays."
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2557. Print. Sun, Leimeng , Fan, Yu , Wang, Xinghui , Agung Susantyoko, Rahmat , Zhang, Qing . Large scale low cost fabrication of diameter controllable silicon nanowire arrays. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2557.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
