| ชื่อเรื่อง | : | Development of silicon-on-glass electrostatic microactuators with a high aspect ratio and vertical configuration. |
| นักวิจัย | : | Chen, Bangtao. |
| คำค้น | : | DRNTU::Engineering::Manufacturing::Product design. |
| หน่วยงาน | : | Nanyang Technological University, Singapore |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2550 |
| อ้างอิง | : | Chen, B. T. (2007). Development of silicon-on-glass electrostatic microactuators with a high aspect ratio and vertical configuration. Doctoral thesis, Nanyang Technological University, Singapore. , http://hdl.handle.net/10356/36128 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | Actuators are the key components that produce the mechanical output and perform physical functions of particular systems. Electrostatic actuators are widely used in micro electromechanical systems (MEMS) applications for their combining versatility and simple technology. In this thesis, an electrostatic microactuator fabricated on silicon-on-glass (SOG) is studied. 261 p. |
| บรรณานุกรม | : |
Chen, Bangtao. . (2550). Development of silicon-on-glass electrostatic microactuators with a high aspect ratio and vertical configuration..
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore. Chen, Bangtao. . 2550. "Development of silicon-on-glass electrostatic microactuators with a high aspect ratio and vertical configuration.".
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore. Chen, Bangtao. . "Development of silicon-on-glass electrostatic microactuators with a high aspect ratio and vertical configuration.."
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2550. Print. Chen, Bangtao. . Development of silicon-on-glass electrostatic microactuators with a high aspect ratio and vertical configuration.. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2550.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
