| ชื่อเรื่อง | : | Deposition and characterization of high-K (Ca,Sr)ZrO3 thin films using sol-gel technique. |
| นักวิจัย | : | Yu, Ting. |
| คำค้น | : | DRNTU::Engineering::Electrical and electronic engineering::Electric apparatus and materials. , DRNTU::Engineering::Materials::Microelectronics and semiconductor materials::Thin films. |
| หน่วยงาน | : | Nanyang Technological University, Singapore |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2548 |
| อ้างอิง | : | Yu, T. (2005). Deposition and characterization of high-K (Ca,Sr)ZrO3 thin films using sol-gel technique. Doctoral thesis, Nanyang Technological University, Singapore. , http://hdl.handle.net/10356/3434 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | There are growing interests in high-k dielectric materials because of their broad future applications for semiconductor industry such as alternative gate oxide, high-density storage capacitors, and high-voltage capacitors.The sol-gel derived CaxSr1-xZrO3 dielectric thin films have been systematically investigated for potential electronic device applications. |
| บรรณานุกรม | : |
Yu, Ting. . (2548). Deposition and characterization of high-K (Ca,Sr)ZrO3 thin films using sol-gel technique..
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore. Yu, Ting. . 2548. "Deposition and characterization of high-K (Ca,Sr)ZrO3 thin films using sol-gel technique.".
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore. Yu, Ting. . "Deposition and characterization of high-K (Ca,Sr)ZrO3 thin films using sol-gel technique.."
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2548. Print. Yu, Ting. . Deposition and characterization of high-K (Ca,Sr)ZrO3 thin films using sol-gel technique.. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2548.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
