| ชื่อเรื่อง | : | A ZnO driven silicon cantilever for nanoscale actuation |
| นักวิจัย | : | Yuan, Yanhui , Du, Hejun , Wang, Peihong |
| คำค้น | : | - |
| หน่วยงาน | : | Nanyang Technological University, Singapore |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2555 |
| อ้างอิง | : | Yuan, Y., Du, H., & Wang, P. (2012). A ZnO Driven Silicon Cantilever for Nanoscale Actuation. Advanced Materials Research, 486, 23-26. , 1662-8985 , http://hdl.handle.net/10220/10723 , http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.486.23 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | Advanced materials research |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | A micro silicon cantilever actuated by ZnO thin film was designed, fabricated and characterized. The ZnO thin film was deposited by RF sputtering at room temperature. The transverse piezoelectric constant d31 was found to be-4.66 pC/N. Time and frequency responses of the cantilever actuator were investigated by means of a laser Doppler vibrometer. The actuator has a sensitivity of 12 nm/V at 15 kHz. Its 1st bending resonance was observed at 53 kHz. The bandwidth was found to be 27 kHz with damping of 0.35%. The cantilever demonstrated capability of high frequency actuation on a nanometer level. |
| บรรณานุกรม | : |
Yuan, Yanhui , Du, Hejun , Wang, Peihong . (2555). A ZnO driven silicon cantilever for nanoscale actuation.
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore. Yuan, Yanhui , Du, Hejun , Wang, Peihong . 2555. "A ZnO driven silicon cantilever for nanoscale actuation".
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore. Yuan, Yanhui , Du, Hejun , Wang, Peihong . "A ZnO driven silicon cantilever for nanoscale actuation."
กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2555. Print. Yuan, Yanhui , Du, Hejun , Wang, Peihong . A ZnO driven silicon cantilever for nanoscale actuation. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2555.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
