ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Influence of bias voltage on the hardness and toughness of CrAlN coatings via magnetron sputtering

หน่วยงาน Nanyang Technological University, Singapore

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Influence of bias voltage on the hardness and toughness of CrAlN coatings via magnetron sputtering
นักวิจัย : Wang, Yu Xi , Zhang, Sam , Lee, Jyh-Wei , Lew, Wen Siang , Li, Bo
คำค้น : -
หน่วยงาน : Nanyang Technological University, Singapore
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2555
อ้างอิง : Wang, Y. X., Zhang, S., Lee, J.-W., Lew, W. S., & Li, B. (2012). Influence of bias voltage on the hardness and toughness of CrAlN coatings via magnetron sputtering. Surface and Coatings Technology, 206(24), 5103-5107. , 0257-8972 , http://hdl.handle.net/10220/10302 , http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2012.06.041
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : Surface and coatings technology
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

Chromium aluminum nitride (CrAlN) coatings were prepared via magnetron sputtering in a mixed Ar and N2 ambient. The effect of negative bias voltage (Vb) on the microstructure was investigated using a spectrum of characterizing techniques in terms of Glancing Angle X-ray Diffractometry, Field Emission Scanning Electron Microscopy and Transmission Electron Microscopy. As Vb increased from 50 to 260 V, hardness was improved from 10 to 26 GPa. Toughness grew at the same time and maximized at around 2 MPa·m1/2 when Vb = 210 V. Simultaneous improvements in hardness and toughness were attributed to the densified microstructure with refined grains and increased compressive stress.

บรรณานุกรม :
Wang, Yu Xi , Zhang, Sam , Lee, Jyh-Wei , Lew, Wen Siang , Li, Bo . (2555). Influence of bias voltage on the hardness and toughness of CrAlN coatings via magnetron sputtering.
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Wang, Yu Xi , Zhang, Sam , Lee, Jyh-Wei , Lew, Wen Siang , Li, Bo . 2555. "Influence of bias voltage on the hardness and toughness of CrAlN coatings via magnetron sputtering".
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Wang, Yu Xi , Zhang, Sam , Lee, Jyh-Wei , Lew, Wen Siang , Li, Bo . "Influence of bias voltage on the hardness and toughness of CrAlN coatings via magnetron sputtering."
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2555. Print.
Wang, Yu Xi , Zhang, Sam , Lee, Jyh-Wei , Lew, Wen Siang , Li, Bo . Influence of bias voltage on the hardness and toughness of CrAlN coatings via magnetron sputtering. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2555.