ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Digital holography for MEMS application

หน่วยงาน Nanyang Technological University, Singapore

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Digital holography for MEMS application
นักวิจัย : Anand, Asundi , Singh, Vijay Raj
คำค้น : DRNTU::Science::Physics::Optics and light.
หน่วยงาน : Nanyang Technological University, Singapore
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2552
อ้างอิง : Anand, A. & Singh, V. R. (2009). Digital Holography for MEMS Application. Digital Holography and Three-Dimensional Imaging (DH) (2009:Vancouver). , http://hdl.handle.net/10220/7116 , http://www.opticsinfobase.org/abstract.cfm?uri=DH-2009-JTuA2 , 143358
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

Studies on digital holographic microscopy for full field high resolution 3-D profiling of MEMS and micro-devices are presented. Applications for thin film thickness measurement and studies on a MEMS accelerometer are presented.

บรรณานุกรม :
Anand, Asundi , Singh, Vijay Raj . (2552). Digital holography for MEMS application.
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Anand, Asundi , Singh, Vijay Raj . 2552. "Digital holography for MEMS application".
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Anand, Asundi , Singh, Vijay Raj . "Digital holography for MEMS application."
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2552. Print.
Anand, Asundi , Singh, Vijay Raj . Digital holography for MEMS application. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2552.