ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

การปลูกผลึกเพชรด้วยเทคนิค Hot Filament Chemical Vapor Deposition

หน่วยงาน ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : การปลูกผลึกเพชรด้วยเทคนิค Hot Filament Chemical Vapor Deposition
นักวิจัย : ลัดดาวัลย์ สุภาวดี
คำค้น : -
หน่วยงาน : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2543
อ้างอิง : http://www.thaithesis.org/detail.php?id=35112
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

การสังเคราะห์สารกึ่งตัวนำเพชรด้วยเทคนิค Hot Filament Chemical Deposition (HFCVD) เป็นการพยายามสร้างฟิล์มเพชร เพื่อนำไปประยุกต์ใช้งานทางอิเล็กทรอนิกส์ต่าง ๆ หากแต่เมื่อพิจารณา ถึงโครงสร้างของชั้นฟิล์มสารกึ่งตัวนำที่สังเคราะห์ได้ เกิดจากการเชื่อม ต่อกันของผลึกเพชร ซึ่งคุณสมบัติทางไฟฟ้าที่ได้ย่อมมาจากคุณสมบัติของ แต่ละผนึกด้วย ในการวิจัยครั้งนี้จึงทำการพัฒนาเทคนิค HFCVO ให้สามารถ สร้างผลึกเพชรเดี่ยว ๆ ขึ้นมา โดยอาศัยหลักความหนาแน่นของการนิวคลี เอชันและอัตราการโตซึ่งแตกต่างกันบนฐานรองต่างชนิดกัน โดยเลือกใช้ ฐานของ 4 ชนิด คือ ซิลิกอนที่มีการเตรียมพื้นผิวซิลิกอนขัดมัน ทองแดง และโมลิบตินัมแล้วเลือกฐานรอง 2 ชนิด มาใช้ในการสังเคราะห์เพื่อลด การรบกวนจากผลึกข้างเคียงเมื่อใช้ฐานรองซิลิกอนจากเดิมเพียงชนิดเดียว นำผลึกที่ได้ไปปรับปรุงคุณภาพด้วยเทคนิคการแอนนีล ซึ่งจากการทดลองพบว่า ซิลิกอนขัดมันและโมลิบดินัมเป็นฐานรองที่เหมาะสมในการสังเคราะห์ และ ผลึกเพชรสังเคราะห์ที่ได้จะมีคุณภาพสูงสุดเมื่อแอนนีลในบรรยากาศของแก๊ส ไฮโดรเจนที่อุณหภูมิ 900 องศาเซลเซียล เป็นเวลา 9 นาที จากการ วิเคราะห์ผลึกเพชรที่มีขนาดใหญ่ขึ้นตามเวลาในการสังเคราะห์ที่มากขึ้น ด้วยรามานสเปกโตรสโคปีพบว่าสเปกตรัมของรามานที่ตำแหน่ง 1,332 cn- มีความเข้มสูงสุดโดยไม่พบพีกของคาร์บอนโครงสร้างอื่น เมื่อ วิเคราะห์ด้วยเทคนิคการถ่ายภาพ SEM พบว่าผลึกเพชรที่ใช้เวลาในการ สังเคราะห์ 19 ชั่วโมง มีขนาดใหญ่ 620(+,m)m และ เมื่อนำผลึกเพชร ที่ได้ไปวัดคุณลักษณะของกระแสกับแรงดันเทียบกับอุณหภูมิพบว่าผลึกเพชร สังเคราะห์สามารถทำงานได้ที่อุณหภูมิถึงประมาณ 280 องศาเซลเซียส

บรรณานุกรม :
ลัดดาวัลย์ สุภาวดี . (2543). การปลูกผลึกเพชรด้วยเทคนิค Hot Filament Chemical Vapor Deposition.
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย.
ลัดดาวัลย์ สุภาวดี . 2543. "การปลูกผลึกเพชรด้วยเทคนิค Hot Filament Chemical Vapor Deposition".
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย.
ลัดดาวัลย์ สุภาวดี . "การปลูกผลึกเพชรด้วยเทคนิค Hot Filament Chemical Vapor Deposition."
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย, 2543. Print.
ลัดดาวัลย์ สุภาวดี . การปลูกผลึกเพชรด้วยเทคนิค Hot Filament Chemical Vapor Deposition. กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย; 2543.