วิทยานิพนธ์ฉบับนี้ เป็นการศึกษาผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอกชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์ และการเกิดออกซิเดชันของรีแอกชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์โดยในส่วนแรกถูกตรวจสอบด้วยการใช้ผงซิลิคอนสามขนาดซึ่งมีขนาดเฉลี่ย 3, 6 และ12 ไมโครเมตร อัดขึ้นรูปด้วยแรงแบบแนวเดียวที่ 72 MPa แล้วทำการอัดขึ้นรูปด้วยแรงแบบทุกทิศทางที่ 300 MPa จากนั้นเผาผนึกขั้นต้นที่อุณหภูมิ 1200(+,ฐ)C ในบรรยากาศอาร์กอนเป็นเวลา 3 ชั่วโมง และทำการไนไตรเดชันที่อุณหภูมิ 1500 (+,ฐ)C ในบรรยากาศไนโตรเจนเป็นเวลา 3 ชั่วโมง ตรวจสอบสมบัติทางกายภาพและสมบัติทางกล จากผลการทดลองพบว่าเมื่อขนาดของผงซิลิคอนเล็กลงสมบัติต่าง ๆ ทั้งความหนาแน่น, โมดูลัสของยัง,ความแข็ง และความแข็งแรงต่อการดัดจะมีค่าเพิ่มขึ้น ในส่วนที่สองทำการศึกษาการเกิดออกซิเดชันโดยเผาชิ้นงานรีแอกชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์ในบรรยากาศที่อุณหภูมิ 700, 800,900 และ 1000 (+,ฐ)C เป็นเวลา 20 ชั่วโมง หาค่าพลังงานกระตุ้นและตรวจสอบโครงสร้างจุลภาค จากผลการทดลองพบว่าการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิระหว่าง 700-1000 (+,ฐ)Cมีค่าพลังงานกระตุ้นที่จะเกิดซิลิกาเป็น 209 kJ/mol (50 kcal/mol)