การสังเคราะห์ฟิล์มบางเพื่อนำมาใช้ในงานที่ต่างชนิดกันจะมีเทคนิควิธีต่างกันโดยฟิล์มบางที่มีคุณภาพดีและเหมาะแก่การนำไปใช้งานต้องเป็นฟิล์มบางที่มีความบริสุทธิ์สูงในงานวิจัยนี้ได้ทำการพัฒนาระบบการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ(RF-PECVD SYSTEM) เพราะเป็นระบบที่น่าสนใจเนื่องจากไม่จำเป็นต้องใช้ขั้วไฟฟ้าในกระบวนการสร้างพลาสมา ซึ่งจะทำให้ได้ฟิล์มบางที่มีความบริสุทธิ์ ระบบนี้จะดำเนินการภายใต้ความดันระหว่าง 10('-3) - 30 torr โดยส่งพลังงานจากเครื่องกำเนิดความถี่วิทยุที่ให้ความถี่ขนาด 13.56 MHz ผ่านวงจรปรับค่าความขัด (impedance matchingnetwork) เพื่อทำการปรับค่าความขัด (impedance) ของเครื่องกำเนิดความถี่วิทยุให้เท่ากับภายในระบบที่เกิดกระบวนการแตกตัวของอิออนที่มีการเรืองแสง (glow discharge)ของก๊าซขึ้น แล้วทำให้มีการส่งผ่านพลังงานมายังระบบได้สูงสุด เมื่ออิเล็กตรอนและโมเลกุลของก๊าซที่อยู่ภายในระบบได้รับพลังงานก็จะถูกเร่งให้เคลื่อนที่และชนกันจนในที่สุดเปลี่ยนสถานะเป็นพลาสมา แล้วทำให้เกิดการเคลือบฟิล์มบางลงบนวัสดุรองรับ ในงานวิจัยนี้ได้ทำการพัฒนาระบบ RF-PECVD และได้มีการศึกษาระบบที่จัดสร้างขึ้นโดยได้ทำการวัดค่ากระแสและค่าศักดิ์ของขดลวดเหนี่ยวนำ แล้วนำระบบ RF-PECVD ที่ได้มาทำการเคลือบฟิล์มบางของโพลีอะเซทิลีนจากสารตั้งต้นแก๊สอะเซทิลีน เมื่อสังเคราะห์ฟิล์มได้แล้วได้นำไปตรวจสอบด้วยเครื่องอินฟราเรดสเปกโทรสโกปีและเครื่องนิวเคลียร์แมกเนติกเรโซแนนซ์สเปกโทรสโกปี