ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

การผลิตแผ่นรองรับอะลูมินาสำหรับใช้งานไมโครอิเล็กทรอนิกส์

หน่วยงาน ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : การผลิตแผ่นรองรับอะลูมินาสำหรับใช้งานไมโครอิเล็กทรอนิกส์
นักวิจัย : สุรศักดิ์ โกสิยพันธ์
คำค้น : ALUMINA SUBSTRATE , MICROELECTRONIC
หน่วยงาน : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2536
อ้างอิง : http://www.thaithesis.org/detail.php?id=1082536000119
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

การศึกษาวิจัยนี้ เป็นการศึกษากรรมวิธีการผลิตแผ่นรองรับอะลูมินาสำหรับใช้งานไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ด้วยอะลูมินาชนิดที่มีความบริสุทธิ์สูงถึงร้อยละ99.32 อนุภาค ส่วนใหญ่มีขนาด 2-6 ไมโครเมตร ใช้แมกนีเซีย เป็นตัวช่วยลดอุณหภูมิในการเผา ส่วนตัวช่วยอื่น ๆ เช่น สารช่วยการกระจายลอยตัวใช้แอมโมเนียมโพลีอะคริเลท สารช่วยการยึดเกาะใช้โพลีอะคริเลท เอสเทอร์เป็นต้น ใช้วิธีการขึ้นรูปด้วยการหล่ออะลูมินาสเลอร์รีบนแผ่นฟิล์ม หรือวิธีการที่เรียกว่าดอกเตอร์เบลด ผลจากการศึกษาทดลองสามารถผลิตชิ้นทดลองได้ขนาดหนา 0.4-1.0 มิลลิเมตร กว้าง และยาวได้ตามต้องการ ขณะที่เป็นผลิตภัณฑ์ดิบ มีความอ่อนนุ่มคล้ายแผ่นยาง สามารถม้วนเก็บในแผ่นฟิลม์ได้ใช้อุณหภูมิในการเผาสูงสุด 1500 องศาเซลเซียส จากการศึกษาพบว่าคุณสมบัติที่ดีของผลิตภัณฑ์ นอกจากนี้ขึ้นอยู่กับอัตราส่วนการผสมและอุณหภูมิในการเผาแล้ว ยังขึ้นอยู่กับรูปร่างและขนาดของอนุภาค พื้นที่ผิว ตลอดจนความหนาแน่นของผลิตภัณฑ์ด้วย ซึ่งได้บรรจุอยู่ในกระบวนการศึกษาทดลองครั้งนี้

บรรณานุกรม :
สุรศักดิ์ โกสิยพันธ์ . (2536). การผลิตแผ่นรองรับอะลูมินาสำหรับใช้งานไมโครอิเล็กทรอนิกส์.
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย.
สุรศักดิ์ โกสิยพันธ์ . 2536. "การผลิตแผ่นรองรับอะลูมินาสำหรับใช้งานไมโครอิเล็กทรอนิกส์".
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย.
สุรศักดิ์ โกสิยพันธ์ . "การผลิตแผ่นรองรับอะลูมินาสำหรับใช้งานไมโครอิเล็กทรอนิกส์."
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย, 2536. Print.
สุรศักดิ์ โกสิยพันธ์ . การผลิตแผ่นรองรับอะลูมินาสำหรับใช้งานไมโครอิเล็กทรอนิกส์. กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย; 2536.