วิทยานิพนธ์ (วท.ม.)--จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2554

วิทยานิพนธ์อธิบายการพัฒนาอุปกรณ์เพื่อการตรวจวัดรังสีเอกซ์ทรีมอัลตราไวโอเลต (Extreme Ultraviolet,EUV) การสร้างหัววัดรังสีเอกซ์ทรีมอัลตราไวโอเลตมุ่งเน้นการตอบสนองที่รวดเร็ว ที่เจาะจงความยาวคลื่น 13.5นาโนเมตร ซึ่งหัววัดรังสีนี้พัฒนาโดยใช้หลักปรากฏการณ์ โฟโตอิเล็กทริก (Photoelectric Effect) โลหะที่มีค่าฟังก์ชันงานที่เหมาะสมได้ถูกนำมาทดสอบเพื่อหาชนิดของโลหะที่มีการตอบสนองที่ดีที่สุด จากนั้นหัววัดรังสีได้ถูกนำไปสอบเทียบกับแสงเอกซ์ ทรีมอัลตราไวโอเลตที่ให้พลังงานที่ช่วงความยาวคลื่น 13.5นาโนเมตร ที่สถานีการทดลองเทคนิคทางด้านการตรวจสอบพื้นผิวของวัสดุ (Photoemission Spectroscopy,PES) ณ ศูนย์วิจัยแสงซินโครตรอนแห่งชาติ เพื่อหาประสิทธิภาพการวัดของหัววัดรังสีเอกซ์ทรีมอัลตราไวโอเลตเพื่อเปรียบเทียบกับหัววัดรังสีชนิดโฟโตไดโอด SXUV HS5 Si/Zr ที่ได้มีการพัฒนามาแล้วและใช้อย่างแพร่หลาย โดยพบว่าหัววัดรังสีที่สร้างขึ้นจากโลหะเงินนั้นมีค่าฟังก์ชันงานที่ 4.73 อิเล็กตรอนโวลต์ มีประสิทธิภาพสูงสุด และเมื่อนำมาสร้างเป็นหัววัดรังสีแล้วสามารถวัดได้ครอบคลุมรังสีที่ช่วง 13.5 นาโนเมตร ได้ดีเทียบเท่ากับหัววัดรังสีชนิดโฟโตไดโอด SXUV HS5 Si/Zr เพื่อให้หัววัดรังสีมีประสิทธิภาพเพิ่มขึ้น สามารถนำหัววัดรังสีไปใช้ร่วมกับกระจกเคลือบฟิล์มบางซิลิคอนโมลิบดีนัม Si/Mo ได้ จากการทดสอบหาประสิทธิภาพของหัววัดรังสีเอกซ์ทรีมอัลตราไวโอเลตที่ใช้โลหะเงินพบว่า ที่ช่วงความยาวคลื่น12นาโนเมตร 13.5นาโนเมตร และ 15นาโนเมตร สามารถวัดประสิทธิภาพได้ 1.7% 2.47% และ 1.38% ตามลำดับ เมื่อเทียบกับหัววัดรังสีชนิดโฟโตไดโอด SXUV HS5 Si/Zr พบว่าที่ 13.5นาโนเมตร หัววัดมีประสิทธิภาพ 3.74% ทำให้สรุปได้ว่าหัววัดรังสีเอกซ์ทรีมอัลตราไวโอเลตนี้สามารถนำไปใช้ประโยชน์ทางด้านการพัฒนาอุตสาหกรรมสารกึ่งตัวนำและด้านการวัดรังสีช่วงความยาวคลื่นในช่วง 5-50นาโนเมตร ได้ดีเทียบเท่ากับหัววัดรังสีแบบโซลิดเสตท (Solid State) ที่มีการใช้อย่างแพร่หลาย